Wasco的UC9系列開關是一種專為低壓應用設計(ji)的超高(gao)純(chun)度(du)和(he)耐腐蝕開關。
UC9系列開(kai)關(guan)的(de)(de)額(e)定應用周期超過2,000,000次(ci)，并提供滿足(zu)或超過SEMI F20 UHP要求的(de)(de)可用材料選項。根據SEMI F1標準，所有開(kai)關(guan)均經過氦氣泄漏測試。此外，UC9系列開(kai)關(guan)的(de)(de)內表面光潔度達到了5Ra，進(jin)一步增強(qiang)了其耐腐蝕性(xing)和防泄漏性(xing)能。
性能特點：
高(gao)精度：具有高(gao)的精度和非(fei)常(chang)小的公差，能夠(gou)準確地(di)檢測和控制壓力。
長壽(shou)命(ming)：額定(ding)應用(yong)周期超過 200 萬次，適用(yong)于長期穩(wen)定(ding)的工作環境(jing)。
符(fu)合行(xing)業(ye)標準：材料選擇滿足(zu)或超過(guo) SEMI F20 UHP 要求，并且所有開關都經過(guo)氦泄(xie)漏測(ce)試，達到≤1x10-9 標準立方厘(li)米 / 秒，符(fu)合半導(dao)體行(xing)業(ye)等對高純度和低(di)泄(xie)漏的嚴格(ge)要求。
產品參數
激活點范圍：20 至(zhi) 200 Torr（壓(ya)力abs)
復(fu)位帶：10 Torr + 啟動(dong)點的(de) 6 %（典型值(zhi)）
激(ji)活(huo)點(dian)公(gong)差：+/- 5 Torr +2 %激(ji)活(huo)點(dian)（典型值）
耐(nai)壓(ya)：100 PSIG
爆(bao)破壓(ya)力(li)：1000 PSIG Min
工藝接口：316L SS
符合(he)標準：SEMI F20 UHP
工作溫度：-20 至(zhi) 60 ℃(-4至(zhi) 140 °F)
非工作(zuo)溫度(du)：-40至(zhi) 100 ℃（-40至(zhi) 212 °F）
預期壽命：≥ 1,000,000 次 95B2（視應用(yong)而(er)定）
防(fang)護等級：IP 67（Abs配置）
泄漏(lou)率：氦氣泄漏(lou)測試(shi) ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
Max額定電流：1 A
交流/直(zhi)流電(dian)壓：115/ 28 V
應用領(ling)域：氣箱(xiang)、IGS 配氣盤、配氣系統、閥組箱(xiang)體、蝕刻和沉積(ji)系統等。
