Wasco的UC9系列開關是一種專為(wei)低壓應(ying)用(yong)設計的超高(gao)純度(du)和耐腐蝕開關。
UC9系列(lie)開(kai)關的額(e)定應用(yong)周期超(chao)過(guo)2,000,000次，并提供(gong)滿足或超(chao)過(guo)SEMI F20 UHP要求(qiu)的可用(yong)材料選項。根(gen)據SEMI F1標準，所有開(kai)關均經過(guo)氦氣(qi)泄(xie)漏測試。此外，UC9系列(lie)開(kai)關的內表(biao)面(mian)光潔度達(da)到了5Ra，進(jin)一步增強了其耐腐蝕性和(he)防(fang)泄(xie)漏性能(neng)。
性能特點：
高精度：具(ju)有(you)高的精度和非常小的公差，能夠準(zhun)確(que)地檢(jian)測(ce)和控制壓力。
長壽命：額定應(ying)用周期超過 200 萬次(ci)，適用于(yu)長期穩(wen)定的工作環(huan)境。
符合(he)行業標準：材(cai)料(liao)選擇滿足或超(chao)過 SEMI F20 UHP 要(yao)求，并且所有(you)開關都經過氦(hai)泄漏測試，達到≤1x10-9 標準立(li)方厘米 / 秒(miao)，符合(he)半導體行業等(deng)對(dui)高純度(du)和低泄漏的(de)嚴格要(yao)求。
產品參數
激(ji)活點范(fan)圍：20 至 200 Torr（壓(ya)力abs)
復位帶(dai)：10 Torr + 啟動點的 6 %（典型值）
激活點公差：+/- 5 Torr +2 %激活點（典型(xing)值）
耐壓：100 PSIG
爆破壓(ya)力：1000 PSIG Min
工(gong)藝接口：316L SS
符合標準：SEMI F20 UHP
工作溫(wen)度：-20 至(zhi) 60 ℃(-4至(zhi) 140 °F)
非工作溫度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）
預期壽(shou)命(ming)：≥ 1,000,000 次 95B2（視應(ying)用而定）
防護(hu)等級：IP 67（Abs配置）
泄(xie)漏率(lv)：氦氣泄(xie)漏測(ce)試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
Max額定電流：1 A
交(jiao)流/直(zhi)流電(dian)壓：115/ 28 V
應(ying)用領域：氣(qi)箱(xiang)、IGS 配氣(qi)盤、配氣(qi)系統、閥(fa)組箱(xiang)體(ti)、蝕刻和沉積系統等。
