原理介紹
激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)分析儀(yi)的(de)基本原理主(zhu)要基于(yu)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)在空間中傳播時的(de)特(te)性以(yi)及光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)定(ding)位器件(jian)對光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)位置的(de)感(gan)知和測量。當激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)照射到目(mu)標(biao)(biao)表(biao)面時,會在目(mu)標(biao)(biao)上形(xing)成(cheng)一個光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban),該光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)的(de)形(xing)狀(zhuang)、尺寸和位置等信息可以(yi)反映激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)束(shu)的(de)特(te)性和目(mu)標(biao)(biao)表(biao)面的(de)狀(zhuang)態。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)位置的(de)確定(ding)是激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)檢測的(de)關(guan)鍵,而(er)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)能(neng)量的(de)中心則通常(chang)用來表(biao)征光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)的(de)位置。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)能(neng)量的(de)中心可以(yi)通過重心法等方法求得,即根(gen)據光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)內各點光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)強的(de)分布(bu)情(qing)況,計算光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)(ban)(ban)(ban)能(neng)量的(de)加(jia)權中心位置。
核心部件與技術
激光光斑(ban)分(fen)析儀的核心部件是光斑(ban)傳(chuan)感(gan)器(qi),它可以將(jiang)光斑(ban)的光學信(xin)息轉換(huan)為電信(xin)號,然后通過數(shu)據處(chu)理和分(fen)析,得到(dao)光斑(ban)的質量參數(shu)。為了實現高精度(du)的激光光斑(ban)檢測,需要采(cai)用(yong)高精度(du)的光斑(ban)定位器(qi)件和數(shu)據處(chu)理算法。這些器(qi)件包括二(er)維圖像傳(chuan)感(gan)器(qi)(如(ru)CCD或CMOS相機)、四象(xiang)限探測器(qi)(QPD)和位置敏感(gan)探測器(qi)(PSD)等(deng),它們能夠捕捉光斑(ban)的圖像信(xin)息,并將(jiang)其(qi)轉換(huan)為電信(xin)號進行傳(chuan)輸和處(chu)理。
分類
應用領域
發展趨勢