KMLabs的(de)(de)(de)QM量(liang)子顯(xian)微(wei)鏡是一種創新(xin)的(de)(de)(de)光(guang)子成像解決方案,結合了(le)飛秒激(ji)光(guang)器的(de)(de)(de)時間敏感性和極紫外(EUV)顯(xian)微(wei)鏡及衍射光(guang)學系統(tong)的(de)(de)(de)空間分辨率,適用(yong)于科研和工業領(ling)域的(de)(de)(de)尖端(duan)研究(jiu)(jiu)。該系統(tong)能夠實現(xian)無損成像和高分辨率的(de)(de)(de)納米級材(cai)料(liao)研究(jiu)(jiu),特(te)別是在電池材(cai)料(liao)和半導體領(ling)域的(de)(de)(de)應用(yong)中(zhong)表現(xian)出色。
QM量子顯微鏡(jing)(jing)具(ju)備(bei)多種配置選項,包括可選的激光源(yuan)(EUV和(he)/或VUV)、放大器(qi)以及(ji)定制的光束(shu)線(xian)和(he)成像(xiang)工作站,使其能(neng)夠(gou)覆蓋廣(guang)泛(fan)的納米/量子材料研究需求。此(ci)外,該(gai)顯微鏡(jing)(jing)還支(zhi)持多用途束(shu)線(xian)和(he)泵浦探頭(tou)設計,能(neng)夠(gou)擴展(zhan)至VUV范圍,適用于(yu)專注(zhu)領域(yu)研究和(he)產品供應。
-集成的高性能超快(kuai)EUV激光源
-高分辨率干涉測量表面(mian)和亞表面(mian)成像
-x/y空間分辨率小于20 nm
-具有(you)可(ke)配(pei)置(zhi)終端站的多用(yong)途束線
-泵浦(pu)探頭(XUV泵浦(pu)/ IR探頭)設(she)計
-可擴展至VUV(60-150 nm或8.3至20.7 eV)