光(guang)柵(zha)尺(chi)是(shi)一(yi)(yi)種(zhong)高精(jing)(jing)度測(ce)量(liang)傳感器,由標尺(chi)光(guang)柵(zha)和讀數(shu)頭(tou)組成,利用光(guang)學原理進行(xing)位(wei)置測(ce)量(liang)。它常用于數(shu)控(kong)機床、半導體制造等領域,提供微米級甚至納米級的(de)測(ce)量(liang)精(jing)(jing)度,確保設備精(jing)(jing)準運行(xing)。在精(jing)(jing)密制造和科研領域,光(guang)柵(zha)尺(chi)是(shi)不可或(huo)缺的(de)測(ce)量(liang)工具。本(ben)文將通(tong)過(guo)一(yi)(yi)系列問答(da)形式,深入(ru)解析光(guang)柵(zha)尺(chi)的(de)相關(guan)知識,幫(bang)助讀者全(quan)面了(le)解這一(yi)(yi)精(jing)(jing)密測(ce)量(liang)工具。

光柵尺位移傳感器,簡稱光柵尺。是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺位移傳感器經常應用于數控機床的閉環伺服系統中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應速度快的特點。例如,在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補償刀具的運動誤差作用。
光柵尺的工作原理基于莫爾條紋的光學原理。當指示光柵上的線紋與標尺光柵上的線紋以微小角度重疊時,會在光源照射下形成明暗相間的莫爾條紋。這些條紋的位移與光柵尺的位移成正比,通過檢測莫爾條紋的變化,即可精確計算出位移量。
光柵尺按照制造工藝和(he)光學原理(li)的不(bu)同,可以分為透射光柵和(he)反(fan)射光柵。
透射光柵:透射光柵是在透明的玻璃表面刻上間隔相等的不透明線紋制成的。這種光柵的線紋密度高,可達每毫米100條以上,適用于高精度測量。透射光柵通常由標尺光柵和指示光柵組成,標尺光柵固定在機床固定部件上,指示光柵裝在機床活動部件上。
反射光柵:反射光柵則是在金屬的反光平面上刻上平行、等距的密集刻線,利用反射光進行測量。其刻線密度一般在每毫米4~50條范圍內。反射光柵具有結構緊湊、安裝方便等優點,適用于空間受限的測量場景。
此外,光柵尺還可以按照結構用途和輸出信號進行分類。按結構用途不同,光柵尺可分為直線光柵和圓光柵,分別用于直線位移和角位移的測量。按輸出信號分類,光柵尺有1Vpp正弦波信號、TTL方波信號和絕對信號(數字信號)光柵尺等。其中,絕對式光柵尺又包含不同的通訊協議,如SSI協議、串行協議等。
選擇光柵尺時,需考慮測量精度、測量范圍、工作環境、安裝方式以及成本等因素。例如,對于高精度要求的場合,應選擇線紋密度高、測量精度高的透射式光柵尺;對于空間受限的場合,反射式光柵尺更為合適。同時,還需考慮光柵尺的防護等級和工作環境溫度,以確保其長期穩定運行。
光柵尺的測量精度指在任意一米范圍內,光柵尺的測量結果與實際值之間的差距小于所標稱的值,如有效測量范圍2040mm,精度3um的光柵尺,任意一米范圍內的測量結果與實際值的差距小于±3um,注意,不是±1.5um。
IP后面的第一個數字表示電器防止外物侵入的等級,第二個數字表示電器防濕氣、防水侵入的密閉程度,數字越大表示其防護等級越高。
IP54指不可能完全阻止灰塵進入,但灰塵進入的數量不會對設備造成傷害;在一段時間,5分鐘內,可以防止各個方向飛濺而來的水侵入電器而造成損壞。
IP64指完全防止外物及灰塵侵入;同時在一段時間,5分鐘內,可以防止各個方向飛濺而來的水侵入電器而造成損壞。