在半導體制造領域(yu)，納米級精度可以決定產品的(de)(de)成敗，光學(xue)濾光片起著至關重要但經常被忽視的(de)(de)作用(yong)。在 Chroma Technology，我們(men)了解(jie)光學(xue)濾光片的(de)(de)質(zhi)量直(zhi)接(jie)影響檢測過程的(de)(de)準確(que)性，并(bing)最終影響半導體的(de)(de)性能(neng)。

Chroma：您的半導體檢測合作伙伴

我們專門制造先進的光學濾光片，旨在滿足半導體檢測的嚴格要求，包括以下濾光片：

缺陷檢(jian)測(ce)：檢(jian)測(ce)和分類晶圓(yuan)表面的(de)(de)缺陷對于(yu)保持半(ban)導體的(de)(de)質量和性能至關重要。我們的(de)(de)過(guo)濾器可實現高精(jing)度檢(jian)測(ce)，確保最(zui)終產品(pin)中的(de)(de)缺陷最(zui)少(shao)。

基(ji)于(yu)(yu)激(ji)光(guang)的檢測(ce)：基(ji)于(yu)(yu)激(ji)光(guang)的檢測(ce)技術（包(bao)括測(ce)量熱導率和電(dian)阻）依賴于(yu)(yu)高質量的光(guang)學濾(lv)光(guang)片(pian)。Chroma 的濾(lv)光(guang)片(pian)可(ke)確保準確可(ke)靠(kao)的測(ce)量，這(zhe)對(dui)于(yu)(yu)優(you)化(hua)半(ban)導體性能至關(guan)重(zhong)要。

材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)特(te)性：了解半導體制造中使(shi)用的材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)的特(te)性至(zhi)關重要。我們的過濾器(qi)有助于詳細表征材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)，提(ti)供有關材(cai)(cai)料(liao)(liao)(liao)質(zhi)量和性能(neng)的寶貴(gui)見解。

疊層精(jing)度檢測：在半導(dao)體(ti)制造中，實(shi)現(xian)(xian)準確的疊層精(jing)度至關重要，以確保連(lian)續層對齊。色度濾鏡可幫(bang)助您在檢測和(he)糾正疊層偏差方(fang)面實(shi)現(xian)(xian)高的精(jing)度。

顆粒(li)檢(jian)(jian)測：準(zhun)確(que)的(de)顆粒(li)檢(jian)(jian)測對(dui)于(yu)避(bi)免污(wu)染和確(que)保(bao)產品的(de)使用壽命和可靠性至關(guan)重(zhong)要。Chroma 的(de)過(guo)濾器旨在提高顆粒(li)檢(jian)(jian)測系(xi)統的(de)靈敏度和準(zhun)確(que)性。

亞表(biao)面檢(jian)查(cha)：利用(yong)短(duan)波(bo)紅(hong)外(wai) (SWIR) 范圍來查(cha)看各層并(bing)發現(xian)隱藏的(de)缺陷。我們的(de)濾光(guang)片提(ti)供檢(jian)測可見光(guang)譜中看不見的(de)問題(ti)所需(xu)的(de)光(guang)譜性能(neng)。

雖然這(zhe)些應(ying)用代表了我們(men)(men)在半(ban)導體(ti)(ti)檢(jian)測方面的(de)一些核心(xin)優勢(shi)，但我們(men)(men)的(de)專業知識遠(yuan)不止這(zhe)些領域。無(wu)論您的(de)半(ban)導體(ti)(ti)檢(jian)測需求(qiu)是什么，我們(men)(men)都(dou)致力于開發(fa)專業的(de)光(guang)學濾鏡(jing)(jing)解決方案，突(tu)破精度(du)和性能的(de)界(jie)限。色度(du)濾鏡(jing)(jing)具有(you)一系列優勢(shi)，包括：

精確的波長選擇

在(zai)半導體檢測(ce)(ce)中，隔離和(he)分析特定波長的光的能力(li)對于檢測(ce)(ce)精細(xi)的細(xi)節和(he)細(xi)微(wei)的缺陷至關重(zhong)要(yao)。色度濾光片(pian)提供光線(xian)控制，其功能旨(zhi)在(zai)增強(qiang)您(nin)的檢測(ce)(ce)能力(li)：

• 高傳輸率，實現最大信號強度
• 深度阻斷，降低噪音，提供全范圍帶外阻斷
• 陡峭邊緣，增強光譜鑒別能力
• 可定制帶寬，從超窄、一埃寬的帶寬到跨越數百納米的帶寬

這(zhe)些功(gong)能(neng)可以實現從(cong)高度選擇(ze)性(xing)的(de)基于激光(guang)的(de)測(ce)量到半導(dao)體特性(xing)的(de)廣(guang)譜分析的(de)一切，為您提供檢查過(guo)程所需的(de)多(duo)功(gong)能(neng)性(xing)。

光學性能

除(chu)了波長選擇之外，濾光片的整體光學(xue)性能對半導(dao)體檢測(ce)的準(zhun)確性和(he)可靠性也起(qi)著(zhu)至關重要的作(zuo)用。我(wo)們的濾光片經過精心(xin)設(she)計，可滿(man)足并超越行業的嚴格標準(zhun)：

• 高的圖像質量，反射和透射波前失真低
• 低相位延遲，適用于偏振敏感應用
• 高耐用性，適用于苛刻的工業環境

憑借這些先進的(de)功能(neng)，Chroma 濾(lv)光片為您(nin)的(de)半導體檢(jian)測需求提供(gong)了堅實的(de)基礎，使您(nin)能(neng)夠突破質量控制(zhi)、工(gong)藝優化和(he)材料特性方(fang)面(mian)的(de)極限。

不同用例的濾光片選項

我們在為半(ban)導體應用創建濾光片方面擁有豐(feng)富的(de)經驗，包括：

• 單波段和多波段帶通濾光片：選擇特定波長范圍進行有針對性的檢查。
• 光束組合器和分束器：劃分光束以同時進行多路徑分析。
• 二向色鏡和多向色鏡：反射特定波長，同時傳輸其他波長。將光分成不同的波長帶。
• 長波通濾光片和短波通濾光片：通過較長或較短的波長，同時阻擋相反的波長，從而實現準確的光譜分離。
• 陷波抑制濾光片：阻擋特定波長，允許其他波長通過。

這些(xie)濾光片(pian)類型僅代表我(wo)(wo)們(men)在半導(dao)體領(ling)域能力的(de)一(yi)小部分(fen)。我(wo)(wo)們(men)豐(feng)富(fu)的(de)經驗使我(wo)(wo)們(men)能夠滿足半導(dao)體檢查和(he)制造過(guo)(guo)程中的(de)各種光學(xue)過(guo)(guo)濾需求。