微電(dian)子實驗(yan)(yan)室(shi)是致力于各類半導體芯(xin)(xin)片研(yan)究的(de)重要(yao)(yao)科研(yan)機構。對于高端芯(xin)(xin)片的(de)研(yan)發而(er)言，實驗(yan)(yan)室(shi)內部的(de)環境溫(wen)濕度條(tiao)件至關重要(yao)(yao)，因此該實驗(yan)(yan)室(shi)對環境溫(wen)濕度的(de)控制與監測提(ti)出(chu)了極為嚴格的(de)要(yao)(yao)求。
實驗室溫濕度控制要求
在(zai)實(shi)(shi)驗(yan)室里，各類實(shi)(shi)驗(yan)設備(bei)(bei)與(yu)樣本(ben)對溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)條件(jian)(jian)極為敏感。例如(ru)，高(gao)精(jing)度(du)(du)(du)(du)光刻設備(bei)(bei)要求溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)波動范圍(wei)控制在(zai)±1℃，濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)保持在(zai)40% - 60%RH，以(yi)確保光刻精(jing)度(du)(du)(du)(du)不受溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)變化的(de)(de)(de)干擾；對于一些特(te)殊的(de)(de)(de)半導體材料樣本(ben)，適(shi)(shi)宜的(de)(de)(de)溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)范圍(wei)能(neng)防(fang)止材料特(te)性發生(sheng)改變，保障實(shi)(shi)驗(yan)數據的(de)(de)(de)準確性和可重復(fu)性。而且，長時間處于不適(shi)(shi)宜的(de)(de)(de)溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)環(huan)境中(zhong)，實(shi)(shi)驗(yan)設備(bei)(bei)的(de)(de)(de)電子(zi)元(yuan)件(jian)(jian)可能(neng)會因受潮或溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)過高(gao)而出現性能(neng)下降、壽命縮短等問題。因此，實(shi)(shi)驗(yan)室需要一款高(gao)精(jing)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)監測產品(pin)，保證環(huan)境溫(wen)(wen)濕(shi)(shi)(shi)度(du)(du)(du)(du)保持在(zai)適(shi)(shi)宜的(de)(de)(de)范圍(wei)內。
應用實施過程
在(zai)引(yin)入Fluke 961溫(wen)濕(shi)度(du)(du)記錄(lu)儀(yi)時，實驗(yan)室(shi)團(tuan)隊首先對實驗(yan)室(shi)的布局和溫(wen)濕(shi)度(du)(du)監測需求進行(xing)了詳細規劃。根據實驗(yan)室(shi)的功(gong)能分區(qu)(qu)(qu)和設(she)備分布情況，在(zai)各(ge)個(ge)關鍵區(qu)(qu)(qu)域安裝(zhuang)了溫(wen)濕(shi)度(du)(du)傳感器(qi)，包括實驗(yan)操作區(qu)(qu)(qu)、設(she)備存放區(qu)(qu)(qu)、樣本儲存區(qu)(qu)(qu)等，確保全面覆蓋溫(wen)濕(shi)度(du)(du)敏感區(qu)(qu)(qu)域。
產品優勢
Fluke 961A可(ke)以(yi)通過(guo)USB接口(kou)直(zhi)接導(dao)出PDF報告(gao)文件這(zhe)一(yi)功(gong)能(neng)，極(ji)大地提高了數據(ju)整理(li)和報告(gao)生成(cheng)(cheng)的效率。以(yi)往繁瑣的數據(ju)記錄和報告(gao)編寫(xie)工作，現在只需簡單操作即可(ke)快速完成(cheng)(cheng)，為科研人員節省了大量時(shi)間和精力。
此外，961A的(de)(de)32000組的(de)(de)超(chao)大(da)存儲功能也滿足了實(shi)驗室長時間連續監測的(de)(de)需求，能夠(gou)可靠地保存大(da)量的(de)(de)溫濕度數據(ju)(ju)，無需手動抄錄，保證數據(ju)(ju)完整連貫，為后(hou)續的(de)(de)數據(ju)(ju)分析和研(yan)究提供(gong)了堅實(shi)的(de)(de)數據(ju)(ju)基礎。
F961A溫(wen)濕度記錄儀以(yi)其便利、快速、準確的特點，為微電子研究所(suo)實時分析和掌握實驗室環境(jing)(jing)溫(wen)濕度提供(gong)了有效的數據支持，確保了高(gao)端(duan)芯片研發(fa)工(gong)作在(zai)穩定的環境(jing)(jing)條件下(xia)順利進行。
