什么是干涉？

干涉(she)(interference)為兩波(bo)重疊(die)(die)時組成新(xin)合成波(bo)的(de)(de)(de)(de)現(xian)象。波(bo)的(de)(de)(de)(de)重疊(die)(die)原(yuan)理(li) 兩波(bo)在同一介質(zhi)中傳播，相向行進而(er)重疊(die)(die)時，重疊(die)(die)范圍內介質(zhi) 的(de)(de)(de)(de)質(zhi)點(dian)同時受到兩個(ge)波(bo)的(de)(de)(de)(de)作用(yong)。若(ruo)波(bo)的(de)(de)(de)(de)振幅(fu)不大，此時重疊(die)(die)范圍內介質(zhi)質(zhi)點(dian)的(de)(de)(de)(de)振動 位(wei)移等(deng)于(yu)各別波(bo)動所造成位(wei)移的(de)(de)(de)(de)矢量(liang)和，稱為波(bo)的(de)(de)(de)(de)重疊(die)(die)原(yuan)理(li)。

什么是激光干涉儀？

激光(guang)(guang)干(gan)涉儀(laser interferometer) 以激光(guang)(guang)波長(chang)(chang)為已知(zhi)長(chang)(chang)度(du)利用邁克耳遜干(gan)涉系(xi)統(tong)測(ce)量(liang)位移(yi)的(de)通(tong)用長(chang)(chang)度(du)測(ce)量(liang).工具(ju)激光(guang)(guang) 干(gan)涉儀有單(dan)頻(pin)的(de)和雙頻(pin)的(de)兩種。激光(guang)(guang)具(ju)有高(gao)強度(du)、高(gao)度(du)方向性(xing)、空間同調性(xing)、窄(zhai)帶寬和高(gao)度(du)單(dan)色性(xing)等優點。

目前 常用來測(ce)量長度(du)(du)的(de)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)(yi)，主要(yao)是以邁克爾遜干(gan)涉(she)(she)儀(yi)(yi)為主，并(bing)以穩頻氦氖激光(guang)(guang)為光(guang)(guang)源， 構(gou)成一(yi)個具有干(gan)涉(she)(she)作(zuo)用的(de)測(ce)量系統(tong)。激光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)儀(yi)(yi)可(ke)配合各種(zhong)折射鏡、反射鏡等來作(zuo)線 性(xing)位置(zhi)、速度(du)(du)、角度(du)(du)、真平度(du)(du)、真直度(du)(du)、平行度(du)(du)和垂直度(du)(du)等測(ce)量工(gong)(gong)作(zuo)，并(bing)可(ke)作(zuo)為精密 工(gong)(gong)具機或(huo)測(ce)量儀(yi)(yi)器的(de)校正工(gong)(gong)作(zuo)。

激光干涉儀的應用

（1）幾何精度檢測 可(ke)用于(yu)檢測直(zhi)線度、垂(chui)直(zhi)度、俯仰(yang)與偏擺、平(ping)面度、平(ping)行度等。

（2）位置精度的(de)檢(jian)測及(ji)(ji)其自動(dong)補(bu)償(chang)(chang) 可檢(jian)測數控機(ji)床定位精度、重(zhong)復定位精度、微量(liang)(liang)位移(yi)精度等。利用(yong)雷尼(ni)紹ML10激(ji)光(guang)干(gan)涉儀不僅能自動(dong)測量(liang)(liang)機(ji)器(qi)的(de)誤(wu)差，而(er)(er)且(qie)還能通過RS232接口自動(dong)對其線性(xing)誤(wu)差進行(xing)補(bu)償(chang)(chang)，比通常的(de)補(bu)償(chang)(chang)方法節(jie)省了(le)大量(liang)(liang)時間，并且(qie)避免了(le)手工計算和手動(dong)數控鍵入而(er)(er)引起的(de)操(cao)作(zuo)者誤(wu)差，同時可盡大限度地選(xuan)用(yong)被測軸上的(de)補(bu)償(chang)(chang)點數，使機(ji)床達到(dao)佳精度，另外(wai)操(cao)作(zuo)者無需具有機(ji)床參數及(ji)(ji)補(bu)償(chang)(chang)方法的(de)知識。

（3）數(shu)控轉(zhuan)臺(tai)分(fen)度(du)精(jing)度(du)的(de)(de)(de)檢測(ce)及其自動補償，利用ML10激光干(gan)涉儀(yi)加上RX10轉(zhuan)臺(tai)基(ji)準還能進(jin)行回轉(zhuan)軸(zhou)的(de)(de)(de)自動測(ce)量(liang)。它可對任意角度(du)位置，以任意角度(du)間隔進(jin)行全(quan)自動測(ce)量(liang)，其精(jing)度(du)達(da)±1。新的(de)(de)(de)國際(ji)標準已(yi)推薦(jian)使用該項(xiang)新技術。它比(bi)傳統(tong)(tong)用自準直儀(yi)和多面(mian)體的(de)(de)(de)方法不僅(jin)節約了(le)大量(liang)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)時(shi)間，而(er)且還得到完整(zheng)的(de)(de)(de)回轉(zhuan)軸(zhou)精(jing)度(du)曲線，知曉其精(jing)度(du)的(de)(de)(de)每一細節，并給出按相關標準處(chu)理的(de)(de)(de)統(tong)(tong)計結果(guo)。

（4）雙(shuang)軸(zhou)(zhou)定(ding)位精度(du)(du)的檢測及其自動(dong)(dong)補償(chang)(chang)雷尼紹雙(shuang)激(ji)光干涉儀系統(tong)可(ke)同步測量大型龍門移動(dong)(dong)式(shi)數(shu)控機床，由(you)雙(shuang)伺服驅(qu)動(dong)(dong)某(mou)一(yi)軸(zhou)(zhou)向運動(dong)(dong)的定(ding)位精度(du)(du)，而且還能通過RS232接(jie)口，自動(dong)(dong)對(dui)兩軸(zhou)(zhou)線性誤差(cha)分別(bie)進行(xing)補償(chang)(chang)。

（5）數控機床動(dong)(dong)態性(xing)能檢(jian)測利用(yong)RENISHAW動(dong)(dong)態特性(xing)測量與評估軟(ruan)件，可用(yong)激光干涉儀進行(xing)機床振動(dong)(dong)測試與分(fen)析(xi)(xi)(xi)（FFT），滾(gun)珠絲杠的(de)動(dong)(dong)態特性(xing)分(fen)析(xi)(xi)(xi)，伺服(fu)驅動(dong)(dong)系統的(de)響應特性(xing)分(fen)析(xi)(xi)(xi)，導軌(gui)的(de)動(dong)(dong)態特性(xing)（低速爬(pa)行(xing)）分(fen)析(xi)(xi)(xi)等。

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