什么是干涉？

干涉(interference)為(wei)兩(liang)(liang)波(bo)重(zhong)(zhong)疊時(shi)組成(cheng)新合成(cheng)波(bo)的(de)現象。波(bo)的(de)重(zhong)(zhong)疊原理(li)(li) 兩(liang)(liang)波(bo)在同(tong)一介質(zhi)(zhi)(zhi)中傳播，相(xiang)向行進而(er)重(zhong)(zhong)疊時(shi)，重(zhong)(zhong)疊范(fan)圍內(nei)介質(zhi)(zhi)(zhi) 的(de)質(zhi)(zhi)(zhi)點同(tong)時(shi)受到兩(liang)(liang)個波(bo)的(de)作用。若波(bo)的(de)振(zhen)幅不(bu)大，此時(shi)重(zhong)(zhong)疊范(fan)圍內(nei)介質(zhi)(zhi)(zhi)質(zhi)(zhi)(zhi)點的(de)振(zhen)動 位移(yi)等于(yu)各別波(bo)動所造成(cheng)位移(yi)的(de)矢量和(he)，稱為(wei)波(bo)的(de)重(zhong)(zhong)疊原理(li)(li)。

什么是激光干涉儀？

激(ji)光干(gan)涉儀(laser interferometer) 以激(ji)光波長為已(yi)知(zhi)長度(du)利用(yong)(yong)邁克耳遜干(gan)涉系統測量位移(yi)的通用(yong)(yong)長度(du)測量.工具(ju)激(ji)光 干(gan)涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激(ji)光具(ju)有高強度(du)、高度(du)方向性、空(kong)間(jian)同調性、窄帶寬(kuan)和高度(du)單色(se)性等(deng)優點。

目前 常用(yong)來測量(liang)(liang)長度(du)(du)(du)的(de)干(gan)(gan)涉(she)儀(yi)，主要是(shi)以邁克(ke)爾遜干(gan)(gan)涉(she)儀(yi)為主，并以穩頻氦氖激(ji)光為光源， 構(gou)成一個具(ju)有干(gan)(gan)涉(she)作(zuo)用(yong)的(de)測量(liang)(liang)系(xi)統。激(ji)光干(gan)(gan)涉(she)儀(yi)可配合各種折射鏡、反射鏡等來作(zuo)線(xian) 性位置、速度(du)(du)(du)、角度(du)(du)(du)、真(zhen)(zhen)平度(du)(du)(du)、真(zhen)(zhen)直度(du)(du)(du)、平行度(du)(du)(du)和垂直度(du)(du)(du)等測量(liang)(liang)工(gong)作(zuo)，并可作(zuo)為精密(mi) 工(gong)具(ju)機或測量(liang)(liang)儀(yi)器的(de)校正工(gong)作(zuo)。

激光干涉儀的應用

（1）幾何精度(du)檢(jian)測 可(ke)用于檢(jian)測直線度(du)、垂直度(du)、俯仰與(yu)偏擺、平面度(du)、平行(xing)度(du)等。

（2）位置精(jing)度的檢測及其自(zi)動補償(chang)(chang)(chang) 可檢測數(shu)控機(ji)(ji)床定(ding)位精(jing)度、重復定(ding)位精(jing)度、微量(liang)位移精(jing)度等(deng)。利用雷(lei)尼紹ML10激光干涉儀不僅能自(zi)動測量(liang)機(ji)(ji)器的誤(wu)差，而且還能通過RS232接口自(zi)動對其線性誤(wu)差進行(xing)補償(chang)(chang)(chang)，比通常的補償(chang)(chang)(chang)方(fang)法節省了大(da)量(liang)時(shi)間，并且避免了手(shou)工計算和手(shou)動數(shu)控鍵入而引起的操作者(zhe)誤(wu)差，同時(shi)可盡大(da)限度地選用被測軸上的補償(chang)(chang)(chang)點數(shu)，使機(ji)(ji)床達到佳(jia)精(jing)度，另外操作者(zhe)無需具有機(ji)(ji)床參數(shu)及補償(chang)(chang)(chang)方(fang)法的知(zhi)識。

（3）數控轉(zhuan)臺分(fen)度(du)(du)精度(du)(du)的(de)(de)(de)檢測及其自動補償，利用(yong)ML10激光(guang)干涉儀(yi)加上RX10轉(zhuan)臺基準還(huan)能進行回轉(zhuan)軸(zhou)的(de)(de)(de)自動測量。它(ta)可對(dui)任意(yi)角度(du)(du)位置，以任意(yi)角度(du)(du)間隔進行全自動測量，其精度(du)(du)達±1。新(xin)的(de)(de)(de)國際標準已推薦使用(yong)該項新(xin)技(ji)術。它(ta)比(bi)傳統用(yong)自準直儀(yi)和多(duo)面體的(de)(de)(de)方法不僅節(jie)約(yue)了大量的(de)(de)(de)測量時間，而且還(huan)得(de)到完整(zheng)的(de)(de)(de)回轉(zhuan)軸(zhou)精度(du)(du)曲線(xian)，知曉(xiao)其精度(du)(du)的(de)(de)(de)每一細節(jie)，并給出按相(xiang)關標準處(chu)理(li)的(de)(de)(de)統計結果。

（4）雙軸定位(wei)精度(du)的檢測(ce)及(ji)其(qi)自動補償(chang)雷尼紹雙激光干涉儀(yi)系(xi)統(tong)可同步測(ce)量大(da)型龍門(men)移動式數控機床，由雙伺(si)服驅動某一軸向(xiang)運動的定位(wei)精度(du)，而且還能通(tong)過(guo)RS232接口，自動對(dui)兩軸線(xian)性誤差分別(bie)進行補償(chang)。

（5）數控機(ji)床動(dong)(dong)(dong)態性(xing)(xing)能檢測(ce)利用RENISHAW動(dong)(dong)(dong)態特性(xing)(xing)測(ce)量(liang)與評(ping)估軟件，可用激光(guang)干涉儀(yi)進行機(ji)床振(zhen)動(dong)(dong)(dong)測(ce)試與分(fen)析（FFT），滾(gun)珠絲杠的(de)動(dong)(dong)(dong)態特性(xing)(xing)分(fen)析，伺服驅(qu)動(dong)(dong)(dong)系統的(de)響應特性(xing)(xing)分(fen)析，導軌的(de)動(dong)(dong)(dong)態特性(xing)(xing)（低速(su)爬行）分(fen)析等(deng)。

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