美國MicroSense，LLC，前(qian)身為(wei)ADE Technologies，由四大主要業務組成——晶圓幾何計量系(xi)統(tong)、電容傳感(gan)器、振動樣(yang)品磁力計和(he)用(yong)于磁性(xing)測量的磁光克(ke)爾(er)效應（MOKE）工具。MicroSense為(wei)許多(duo)行業提(ti)供(gong)服務，包(bao)括半導(dao)體制造、數據存儲、機床、太陽能、汽車和(he)高亮度LED。MicroSense憑(ping)借豐富(fu)的商業經驗、財(cai)務實力、全球支(zhi)持和(he)技術地(di)位，為(wei)客(ke)戶提(ti)供(gong)價值和(he)安全保障。MicroSense于2019年2月22日被KLA公司收購。
MicroSense的(de)(de)電(dian)容(rong)傳(chuan)感(gan)器(qi)業(ye)務(wu)由Robert C.Abbe于1967年創立，開始是(shi)ADE公司的(de)(de)一部分。ADE公司以其富有遠見和(he)新穎(ying)的(de)(de)高分辨率非(fei)接(jie)觸測(ce)量方法而聞名，適用(yong)于要求苛刻的(de)(de)尺寸測(ce)量應用(yong)。隨著時間的(de)(de)推移，ADE發展(zhan)成為(wei)裸(luo)半導體晶片測(ce)量工具(ju)供應商(shang)。用(yong)于位(wei)置和(he)位(wei)移測(ce)量的(de)(de)高分辨率電(dian)容(rong)式傳(chuan)感(gan)器(qi)（也稱(cheng)(cheng)為(wei)“電(dian)容(rong)計”）成為(wei)“ADE”和(he)我(wo)們的(de)(de)商(shang)標名稱(cheng)(cheng)“MicroSense”的(de)(de)代(dai)名詞。
MicroSense提(ti)供(gong)基于電容(rong)傳感技術的(de)電容(rong)傳感器(qi)和(he)(he)OEM計量(liang)模(mo)塊，對太陽能(neng)晶片、藍(lan)寶石晶片、硬盤驅動器(qi)電機、空氣(qi)軸承主軸、X-Y工作臺、光盤、汽車零部件和(he)(he)機床(chuang)等產(chan)品(pin)進(jin)行非常準確、高帶寬的(de)測(ce)量(liang)。我們的(de)電容(rong)式位移傳感器(qi)提(ti)供(gong)了業界高的(de)分辨率(lv)，小于0.05納米，穩(wen)定性和(he)(he)更長的(de)使(shi)用壽命。
MicroSense主要產(chan)品：
電容式傳感器
太陽能晶片厚度計量
振動樣(yang)品磁強計(ji)（VSM）
磁性計量學
尺寸晶圓計量系統
主要型號：
MicroSense 4800 Series、MicroSense 8800 Series、MicroSense 5800 Series、MicroSense 6800 Series、MicroSense Mini、MicroSense 6360、MicroSense SpinCheck、PV-6060、EZ VSM、Polar Kerr、KerrMapper、DiskMapper H8、UltraMap-C200、UltraMap-APBP、UltraMap-200B、6504-01、6504-01、6501、6502、6503、6620-LR
