美國MicroSense，LLC，前身為(wei)ADE Technologies，由四大主要業(ye)務(wu)(wu)(wu)組成——晶圓幾(ji)何計量系統、電容傳感器(qi)、振動樣(yang)品磁(ci)力(li)計和(he)(he)(he)用(yong)于磁(ci)性測量的磁(ci)光克爾效應(ying)（MOKE）工具。MicroSense為(wei)許多行(xing)業(ye)提供(gong)服務(wu)(wu)(wu)，包括半導體(ti)制造、數(shu)據存儲、機床、太(tai)陽能、汽車和(he)(he)(he)高亮(liang)度LED。MicroSense憑借豐富的商業(ye)經驗、財(cai)務(wu)(wu)(wu)實力(li)、全球支持和(he)(he)(he)技術(shu)地位(wei)，為(wei)客戶提供(gong)價值(zhi)和(he)(he)(he)安全保障。MicroSense于2019年2月22日被KLA公司收購。
MicroSense的(de)電容傳感器(qi)業務由Robert C.Abbe于1967年創立，開始是ADE公司(si)的(de)一部分(fen)(fen)。ADE公司(si)以其富有遠見(jian)和(he)新穎的(de)高分(fen)(fen)辨率非接(jie)觸測量方法而聞名(ming)，適用于要求(qiu)苛刻的(de)尺寸(cun)測量應用。隨著時間(jian)的(de)推移，ADE發(fa)展成(cheng)為裸(luo)半(ban)導體晶片測量工具供應商。用于位(wei)置(zhi)和(he)位(wei)移測量的(de)高分(fen)(fen)辨率電容式(shi)傳感器(qi)（也稱(cheng)為“電容計”）成(cheng)為“ADE”和(he)我們的(de)商標(biao)名(ming)稱(cheng)“MicroSense”的(de)代名(ming)詞(ci)。
MicroSense提供(gong)基于電(dian)(dian)容(rong)傳(chuan)感技術(shu)的電(dian)(dian)容(rong)傳(chuan)感器和(he)OEM計(ji)量模塊(kuai)，對太(tai)陽能晶片、藍寶石晶片、硬盤驅動(dong)器電(dian)(dian)機、空(kong)氣軸承主軸、X-Y工作臺、光(guang)盤、汽車零部件和(he)機床等產(chan)品進行非常準確、高帶寬(kuan)的測量。我們的電(dian)(dian)容(rong)式位移(yi)傳(chuan)感器提供(gong)了業界高的分辨率，小于0.05納(na)米(mi)，穩定性(xing)和(he)更長的使用壽(shou)命。
MicroSense主要產品：
電容式傳感器
太陽能晶片厚度計量
振動樣品磁強(qiang)計（VSM）
磁性計量學
尺寸晶圓計量系統
主要型號：
MicroSense 4800 Series、MicroSense 8800 Series、MicroSense 5800 Series、MicroSense 6800 Series、MicroSense Mini、MicroSense 6360、MicroSense SpinCheck、PV-6060、EZ VSM、Polar Kerr、KerrMapper、DiskMapper H8、UltraMap-C200、UltraMap-APBP、UltraMap-200B、6504-01、6504-01、6501、6502、6503、6620-LR
