精確的平行運動
Max.200µm的運(yun)動范圍
無機械間隙
容易與其他壓電系統結(jie)合
精密(mi)銷孔,可精確調節
高動態范圍
可用于光纖定位、二維掃描系統、光束對(dui)準、半導(dao)體、微操作
平行(xing)四邊形構造的(de)(de)固態鉸鏈提供平行(xing)運動,而在x和y方向(xiang)上沒有(you)機(ji)(ji)械間隙。這些(xie)構造原理得到非(fei)常高的(de)(de)分辨(bian)率,遠遠超過了機(ji)(ji)械和機(ji)(ji)電(dian)(dian)定(ding)位(wei)(wei)系統的(de)(de)分辨(bian)率。壓電(dian)(dian)定(ding)位(wei)(wei)器PXY 200系列可以輕松安裝到其他(ta)定(ding)位(wei)(wei)系統,并可以配備(bei)克服磁(ci)滯效應的(de)(de)測量設備(bei)(應變儀)。動態操作是可能的(de)(de),PXY 200壓電(dian)(dian)元(yuan)件非(fei)常適合(he)解決掃描問題。
軸:X,Y
開(kai)環運(yun)動(dong)(±10%)/閉環運(yun)動(dong)(±0.2%):200 /-µm
每軸電容(±20%):5.2µF
分辨率(開(kai)/閉環):0.4 /- nm
諧振頻率x / y(空載):350/350 Hz
推/拉力
X軸:max. 130/13 N
Y軸:130/13 N
剛(gang)度x / y :0.65 / 0.65 N /μm
電壓(ya)范圍:-20…130V
電纜長度:1 m
溫度范圍(wei):-20°C…+ 80°C
材料:鋁/不銹鋼
尺寸(長x寬x高):70x70x25 mm
中(zhong)心孔徑(直徑):28 mm
重量:350 g