精確的平行運動
Max.200µm的運動(dong)范(fan)圍(wei)
無機械間隙
容易(yi)與其他壓電系統結合
精密銷孔,可精確調節
高動態范圍
可用于光(guang)纖定位、二維(wei)掃描系統(tong)、光(guang)束對準、半導體、微操作
平行四邊形構(gou)造的固態鉸鏈提(ti)供平行運動(dong),而(er)在(zai)x和y方(fang)向上沒有機械(xie)間隙。這些構(gou)造原理得(de)到非常高的分辨率,遠遠超過了(le)機械(xie)和機電(dian)定位系(xi)統的分辨率。壓(ya)(ya)電(dian)定位器(qi)PXY 200系(xi)列可以輕松安(an)裝到其(qi)他定位系(xi)統,并可以配備克服磁滯效應的測(ce)量(liang)設備(應變儀)。動(dong)態操作是可能的,PXY 200壓(ya)(ya)電(dian)元件非常適(shi)合解決掃描(miao)問題。
軸:X,Y
開環運動(±10%)/閉(bi)環運動(±0.2%):200 /-µm
每軸(zhou)電(dian)容(±20%):5.2µF
分辨率(開/閉(bi)環(huan)):0.4 /- nm
諧振頻率(lv)x / y(空(kong)載):350/350 Hz
推/拉力
X軸(zhou):max. 130/13 N
Y軸(zhou):130/13 N
剛度(du)x / y :0.65 / 0.65 N /μm
電壓范圍(wei):-20…130V
電纜長度:1 m
溫度(du)范圍:-20°C…+ 80°C
材料:鋁/不銹鋼
尺寸(長(chang)x寬(kuan)x高):70x70x25 mm
中心孔(kong)徑(直徑):28 mm
重量:350 g