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PIEZOSYSTEM JENAX納米定位儀PU 40

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產品介紹

高穩定性

納(na)米和亞(ya)納(na)米范圍(wei)內(nei)的高分(fen)辨率(lv)

運(yun)動高達40 µm

運動無機械間隙

輕松且通用的調整

集成的預緊力實(shi)現動態運動

高共振頻率

可與其他PU壓電系統組合

適(shi)用(yong)于1D,2D和3D系統的通用(yong)應用(yong)程序

真空兼容版本

PU系(xi)列(lie)執行器(qi)僅由一個金屬部(bu)件(jian)組成。這意味著它們具有(you)出(chu)色(se)的(de)機械穩定性,并且可(ke)以動(dong)態工(gong)作。該(gai)平移臺通過施加(jia)-20到130 V的(de)電(dian)(dian)壓(ya)信(xin)號顯(xian)示出(chu)幾(ji)乎線性的(de)運動(dong)。PU系(xi)列(lie)的(de)壓(ya)電(dian)(dian)臺可(ke)以組合(he)用于XYZ 3D運動(dong)系(xi)統(tong)(tong)。基本撓性平臺配有(you)安裝螺紋。每(mei)個壓(ya)電(dian)(dian)系(xi)統(tong)(tong)都配有(you)用于多軸配置的(de)必要螺釘和零件(jian)。

產品參數

可組合3軸:是

開(kai)環運(yun)動(dong)(±10%):40 µm

電容(rong)(±20%):0.7 µF

開環分辨率:0.08 nm

共(gong)振頻率:1270 Hz

剛度:0.8 N /μm

推力:max.32 N

拉力:max.3 N

電(dian)壓范圍:-20 ... + 130 V

連接器:電(dian)壓LEMO 0S.302

電纜長度:1 m

材料:不銹鋼

尺寸(長x寬(kuan)x高):28.5 x 14 x 14 mm

重量:27 g

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