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集成的掃描程序可進行(xing)光(guang)纖對(dui)準
硅光子學的理想選擇
廣泛的軟件包
直接檢測光信號
位(wei)置傳感器具有(you)高(gao)精度(du)和高(gao)操作可靠性(xing)
<0.5s內自動(dong)對(dui)準多(duo)根(gen)光纖
快速高精度的驅動器
光纖對準系統(tong)的(de)(de)(de)基礎(chu)是非常堅固(gu)的(de)(de)(de)XYZ設置(zhi)，包括三個(ge)電動(dong)線性(xing)(xing)平(ping)臺和(he)一(yi)個(ge)P-616 NanoCube納(na)米定位(wei)器(qi)。低的(de)(de)(de)整(zheng)體高度簡化(hua)了(le)在有限安裝(zhuang)空(kong)間中的(de)(de)(de)集成。電動(dong)驅動(dong)器(qi)可(ke)以實(shi)現更長的(de)(de)(de)行程范(fan)圍，同時，NanoCube納(na)米定位(wei)器(qi)可(ke)確保快速掃(sao)描運動(dong)并動(dong)態補償漂移效應。撓性(xing)(xing)導(dao)軌和(he)全陶瓷絕緣PICMA執行器(qi)確保了(le)較(jiao)長的(de)(de)(de)使用壽(shou)命。因為(wei)所有驅動(dong)器(qi)都配備(bei)了(le)位(wei)置(zhi)傳感器(qi)，所以例如可(ke)以可(ke)靠(kao)地(di)防(fang)止與(yu)昂貴的(de)(de)(de)硅晶片發生碰撞(zhuang)。
廣泛的軟件包
供貨范圍(wei)內(nei)提供的軟件包允許將系統集成到幾乎所有環境中。支持所有常見的操作系統，例(li)如Windows，Linux和(he)macOS，以及許多(duo)常見的編(bian)程語言，包括MATLAB和(he)NI LabVIEW。得益于(yu)復雜的程序示(shi)例(li)和(he)軟件工具（如PIMikroMove）的使用，開始集成和(he)生產操作之間的時(shi)間大大縮(suo)短了。
高性能掃描程序
復(fu)雜的掃(sao)描例程直接(jie)集成到控制器中(zhong)。性能顯著(zhu)提高，集成簡(jian)化。該系統(tong)可以管理光纖對(dui)準領(ling)域(yu)中(zhong)的所有(you)任務。例如，雙面(mian)系統(tong)允許發射機和接(jie)收機同時對(dui)準。
高分辨率模擬輸入
控制器直接(jie)通過高分辨率(lv)的(de)模擬輸入接(jie)收光強度(du)信號(hao)。無需使用攝像機進行復(fu)雜的(de)設(she)置。各種分布函數可用于確定更大(da)強度(du)。
應用領域
光學組(zu)件的(de)對準，自動晶圓測(ce)試，硅光子(zi)學中的(de)組(zu)裝技(ji)術
活動軸數：12
粗略定位
主動軸：X，Y，Z
X，Y，Z的行程范圍：25、25、25 mm
增(zeng)量運(yun)動：min.3 μm
速度：min.20 mm / s
感應器類(lei)型：旋轉編(bian)碼(ma)器
導軌：交叉滾子導軌
驅動類型：直流馬達
精細定位
主動軸：X，Y，Z
X，Y，Z閉環行程：100 μm
增量運動，開環：min.0.3 nm
增量運(yun)動，閉環：2.5 nm
線(xian)性誤差，對于整個行程：2％
重復性（雙向）10％行程(cheng)范圍：2nm
傳感器類型：增量式
驅(qu)動類型(xing)：PICMA
對準
500 μm?螺旋區域掃描時間：<6 s
100 μm?螺旋面掃描時間：<1 s
10 μm?螺旋區域掃描時間：<0.5 s
±5 μm（重復性<0.01 dB）掃描時間，梯度掃描，隨機：<0.3s
