開(kai)/閉環旋轉行(xing)程11/9 mrad
開/閉環0.2 / 0.02µrad分辨率
高平面行為
定義明(ming)確(que)的旋轉中心軸
中心孔徑直徑3mm
溫度補償
ROTOR 10是一軸高(gao)精度旋轉(zhuan)平(ping)臺(tai)。它提供(gong)高(gao)達11µmrad的(de)長轉(zhuan)向和掃(sao)描范圍。定義明(ming)確的(de)旋轉(zhuan)軸位(wei)于中心。中心孔也(ye)允許軸向光束應(ying)用(yong)。由于這些平(ping)臺(tai)的(de)FEA優(you)化,您可(ke)以達到更(geng)高(gao)的(de)動力(li)學(xue)性(xing)能和較(jiao)高(gao)的(de)平(ping)面引導精度。即(ji)使在緊湊的(de)設(she)計中也(ye)可(ke)以承受高(gao)質量負載。優(you)化還結合(he)了出色(se)的(de)溫度補償特性(xing)。固態撓性(xing)鉸鏈的(de)精密整(zheng)體式導向設(she)計意味著該(gai)軌跡沒有機械游隙和摩擦(ca)力(li)-所有壓電系統(tong)(tong)耶納級位(wei)移臺(tai)都具有這一功能。ROTOR 10也(ye)可(ke)與應(ying)變儀測量系統(tong)(tong)一起使用(yong)。
開環運(yun)動(±10):11 mrad
電容(rong):2.8 µF
解(jie)析(xi)度:開(kai)環0.02 µrad
共振頻率:500 Hz
附加負載50 g:250 Hz
附加負載100 g:200 Hz
附加負載300 g:100 Hz
剛度:0.06 Nm/µrad
負載:<50 N
旋(xuan)轉誤差ΘX/ΘY:35/35µrad
尺(chi)寸l x h x d:42 x 23 x 42 mm
中心孔徑:3 mm
電壓范圍:-20…+130 V
連(lian)接(jie)器:電壓ODU 3針
材料:不銹鋼/陽極氧(yang)化(hua)鋁