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品牌標簽
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直(zhi)接驅(qu)動，無槽(cao)，無刷伺服電機
零齒槽(cao)電機，出色的速度穩(wen)定性(xing)
出色(se)的誤(wu)差運動和擺動性能
直(zhi)聯式高精度旋轉編(bian)碼(ma)器
薄型平面設計
沒有機械接觸
Aerotech的ABRS系列(lie)旋轉(zhuan)氣(qi)浮載物臺(tai)以超(chao)薄的外形提(ti)供(gong)了(le)角(jiao)度定(ding)位，速度穩定(ding)性(xing)和誤差運動性(xing)能。ABRS旨(zhi)在滿足晶圓檢查，高精(jing)度計量，X射線(xian)衍射系統(tong)，光學(xue)檢查和制造(zao)以及MEMS /納米(mi)技術(shu)設備制造(zao)的嚴格要求。
緊湊包裝
ABRS系列直接驅(qu)動旋轉(zhuan)平臺(tai)的(de)(de)設(she)計已經過優化(hua)，可大程度地減少平臺(tai)高(gao)度。平臺(tai)的(de)(de)低矮外形降(jiang)低了(le)系統的(de)(de)有效(xiao)工作高(gao)度，從(cong)而減少了(le)與(yu)“堆(dui)積(ji)”有關的(de)(de)錯誤。除了(le)較低的(de)(de)總高(gao)度外，ABRS系列還提(ti)供(gong)了(le)一(yi)個通(tong)孔，可用于(yu)產(chan)品直通(tong)，激(ji)光束(shu)傳輸，電纜間隙或特(te)定應用的(de)(de)要求。
機械設計
ABRS設計具有(you)大(da)(da)的(de)(de)空氣軸承(cheng)表(biao)面(mian)，具有(you)很高(gao)的(de)(de)剛度(du)和(he)承(cheng)載能力，不僅產生出色(se)(se)的(de)(de)軸向和(he)徑(jing)向誤(wu)差運(yun)動，而且產生出色(se)(se)的(de)(de)傾斜誤(wu)差運(yun)動。所(suo)產生的(de)(de)面(mian)誤(wu)差運(yun)動明(ming)顯優于其他(ta)旋轉式空氣軸承(cheng)工作臺和(he)主軸，極大(da)(da)地受益于需要出色(se)(se)平面(mian)性能的(de)(de)應(ying)用。
無刷直驅
為了更好的定位性能(neng)，ABRS系列采用(yong)(yong)了Aerotech的S系列無(wu)槽(cao)無(wu)刷(shua)電機(ji)。電機(ji)采用(yong)(yong)磁路設計，可產(chan)(chan)生(sheng)高扭矩輸出，而產(chan)(chan)生(sheng)的熱量最少。無(wu)槽(cao)設計本質上是零齒槽(cao)和無(wu)轉矩紋(wen)波。這使得ABRS位移臺非常適合需(xu)要低速(su)或高速(su)掃描(miao)速(su)度的應用(yong)(yong)。
準確定位
光(guang)學(xue)編碼(ma)器是ABRS的(de)標準配(pei)置。與Aerotech的(de)反饋乘法(fa)器和控(kong)件配(pei)合使用時，分辨率可達到<0.03弧秒。
定制設計
定制版本的(de)ABRS可用于費率表和慣性制導試驗臺應(ying)用。
寬度：150 mm
桌(zhuo)面直徑：128.1 mm
高度：80 mm
孔徑：8 mm
總行(xing)程(cheng)：360°連續
總線電(dian)壓：80 VDC
基本編碼器分辨率：3600行/轉
轉速：max.300 rpm
精度：±3角秒
雙(shuang)向(xiang)重復性：<2弧秒
負荷
軸向：8 kg
徑向：4 kg
傾斜：3 N-m
軸向誤差運動（同步(bu)）：<175 nm
徑(jing)向誤差運動(dong)（同步）：<450 nm
傾斜誤差(cha)運(yun)動(dong)（同步）：<9.7 µrad（<2.0弧秒）
軸(zhou)向誤(wu)差運動(dong)（異步）：<20 nm
徑向誤差運動（異(yi)步）：<20 nm
傾斜誤差運動（異步）：<0.4 µrad（<0.08弧(hu)秒）
工作壓力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）
空氣消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）
材料：鋁
表面：硬(ying)涂層（62洛(luo)氏硬(ying)度）
慣性卸載：3850 kg-mm2
總質量：4.8公斤
