單軸壓電平(ping)臺利用了APA執行器和(he)撓(nao)曲導向的(de)特性(xing)(xing),可提供出色的(de)緊湊(cou)性(xing)(xing),堅固性(xing)(xing),帶寬和(he)分辨率。壓電平(ping)臺X60S沿X軸的(de)行程為max.110μm,并且可以(yi)配(pei)備應變(bian)片(pian),以(yi)實現高(gao)達10 nm的(de)極高(gao)精(jing)度。
CTEC:緊湊,動態,精確
動態條件(jian)特(te)別具有挑戰性(xing),他們(men)需要能夠產生或處理大(da)加速度(du)的系統。CTEC開(kai)發的執行(xing)器具有反應(ying)性(xing)和(he)可靠性(xing),使其(qi)在高動態應(ying)用中獨樹(shu)一(yi)幟。但(dan)是(shi),集成和(he)加載條件(jian)同樣重要。
空載位移:max.55µm
分辨率:5.5 nm
尺寸:30 * 30 * 12 mm
空載諧(xie)振頻率:1840 Hz
響應時間:0.27 s
受阻力(準靜態激勵,無阻塞):max.120 N
剛性(xing)(準靜態激勵,無阻塞):max.2.0 N/µm
可用選項:真空應變(bian)片(pian)
重量:23 g