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產品介紹
軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激光頭體積<3l
TMC（全(quan)金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵(lu)素過濾器
風冷/可選液冷，主動熱管(guan)理(li)
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用(yong)于系統集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
新(xin)一代緊湊型(xing)風冷，高重(zhong)復頻率的準分子(zi)激光器，專為(wei)中低占空比(bi)應用而設計。
產品參數
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氣體介質 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
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波長 nm |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
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高壓開關技術 |
固態開關 |
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重復率max. Hz |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
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脈沖能量max. mJ |
0.5 |
4.0 |
6.5 |
3.0 |
2.5 |
|
平均功率max. W |
500 |
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脈沖持續時間 ns |
5-8 |
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光束尺寸（V x H） mm |
4 x 6 |
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光(guang)束發散角（V x H）mrad |
1 x 2 |
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能量穩(wen)定性（標準偏差）% |
< 3 |
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尺寸（長x寬x高(gao)）mm |
540 x 470 x 370 |
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重量 kg |
60 |
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冷卻 |
冷卻空氣/可選液體 |
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電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz |
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