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產品介紹
超緊湊的尺寸
軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激(ji)光頭體積<3l
TMC（全(quan)金屬陶瓷）容器(qi)
集成真空(kong)泵(beng)和鹵素過濾器
完全風冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口(kou)，用于系(xi)統集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
ATLEX-S系列(lie)激光是一種(zhong)非常緊(jin)湊(cou)的紫外光源，專(zhuan)為中(zhong)低占(zhan)空比S應用而設計。
產品參數
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氣體介質 |
ArF |
KrF |
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波長 nm |
193 |
248 |
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高壓開關技術 |
固態開關 |
固態開關 |
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重(zhong)復(fu)率max. Hz |
300 |
500 |
300 |
500 |
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脈沖能量max. mJ |
10 |
10 |
15 |
15 |
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平均功率max. W |
2.4 |
4 |
4 |
6 |
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脈沖持續時間 ns |
5-8 |
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光(guang)束尺寸（V x H） mm |
4 x 6 |
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光束發散(san)角（V x H）mrad |
1 x 2 |
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能量穩定(ding)性（標準(zhun)偏差）% |
< 3 |
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尺寸（長x寬(kuan)x高(gao)）mm |
630 x 400 x 300 |
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重量 kg |
65 |
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冷卻 |
空氣 |
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電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
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