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產品介紹
超緊湊的尺寸
軟電暈預電離
高壓固態脈沖發生器
激光頭體積(ji)<3l
TMC（全金(jin)屬(shu)陶瓷）容器(qi)
集成(cheng)真空泵和鹵素過濾(lv)器(qi)
完全風冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tong)集成
可沖洗光學支架
能量穩定模式
ATLEX-S系列激光(guang)是一種非常緊(jin)湊的紫外光(guang)源，專為中低占空比S應用而(er)設(she)計。
產品參數
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氣體介質 |
ArF |
KrF |
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波長 nm |
193 |
248 |
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高壓開關技術 |
固態開關 |
固態開關 |
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重復(fu)率(lv)max. Hz |
300 |
500 |
300 |
500 |
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脈沖能量max. mJ |
10 |
10 |
15 |
15 |
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平均功率max. W |
2.4 |
4 |
4 |
6 |
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脈沖持續時間 ns |
5-8 |
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光束(shu)尺寸（V x H） mm |
4 x 6 |
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光(guang)束發散(san)角（V x H）mrad |
1 x 2 |
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能量穩(wen)定性(xing)（標準偏差）% |
< 3 |
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尺寸（長x寬x高）mm |
630 x 400 x 300 |
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重量 kg |
65 |
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冷卻 |
空氣 |
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電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
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