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無電極設計
-低雜物/低消耗(hao)成本
使用氮氣產生的2-4nm軟(ruan)X射線
-啟用(yong)臺式SXR顯微鏡應用(yong)
等離子體尺寸小
-直徑小于1mm的高亮度
經濟高效且緊湊
-每SXR瓦特成本低
-占地面積小
Energetiq EQ-10SXR源(yuan)包括一(yi)個19英寸的(de)機(ji)架，該機(ji)架包含(han)氣體子(zi)系統，功(gong)(gong)率(lv)傳輸子(zi)系統和控制電子(zi)設備；無電極Z-pinch源(yuan)組件及其集成(cheng)(cheng)的(de)真空泵；以及高效(xiao)脈(mo)沖調制器。這種模塊化設計可(ke)輕松集成(cheng)(cheng)EQ-10SXR能夠(gou)將(jiang)高達(da)400毫(hao)瓦的(de)2.8nm功(gong)(gong)率(lv)提供給2pi球(qiu)面弧度(du)，并能夠(gou)以高達(da)2kHz的(de)脈(mo)沖重復頻率(lv)連續運行。
為了(le)適應各種應用(yong)的(de)(de)不(bu)同要(yao)求，源(yuan)工作(zuo)條(tiao)件是用(yong)戶可調(diao)的(de)(de)。可以根據用(yong)戶要(yao)求針對峰(feng)值(zhi)功率或峰(feng)值(zhi)亮度優化光輸出(chu)。在典型的(de)(de)操作(zuo)條(tiao)件下，等離子體的(de)(de)直徑通常小(xiao)于1mm。
在無電(dian)極SXR源組件(jian)的正面(mian)(mian)為(wei)用戶(hu)提供(gong)了一個簡(jian)單而靈活的光(guang)學(xue)接口(kou)，以連(lian)接到(dao)應(ying)用設備。自定義界面(mian)(mian)可(ke)滿足特(te)定的客戶(hu)要求。用戶(hu)界面(mian)(mian)通(tong)過彩(cai)色觸摸屏(ping)顯示進行操作，并包含允(yun)許(xu)手動和自動操作的菜單。EQ-10SXR易于安裝，僅需電(dian)源，冷水供(gong)應(ying)，清潔的干燥壓縮空氣和高純度氮(dan)氣即可(ke)。
用于水窗顯微鏡和6.7nm研發的軟X射線源
氣體選擇：使用(yong)的NIST光譜數據庫
相對強度高的搜索線(xian)：只有出現(xian)的氣體(ti)是(shi)氖(nai)氣
操作參數
430 V，1100 Hz
5.5 kW
400 mtorr
輸出功率：70 W
