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無電極設計
-低雜物(wu)/低消耗成本
使用氮(dan)氣產生的(de)2-4nm軟X射(she)線
-啟用臺式SXR顯微(wei)鏡(jing)應用
等離子體尺寸小
-直徑小(xiao)于1mm的高亮度(du)
經濟高效且緊湊
-每SXR瓦特成(cheng)本低
-占地面積小
Energetiq EQ-10SXR源(yuan)包括(kuo)一(yi)個19英(ying)寸的(de)機架，該(gai)機架包含氣體子系統(tong)，功(gong)率傳輸子系統(tong)和控制電子設(she)(she)備；無電極(ji)Z-pinch源(yuan)組件及其集(ji)(ji)成的(de)真(zhen)空泵；以及高效脈沖調制器。這種模(mo)塊化設(she)(she)計(ji)可(ke)輕松集(ji)(ji)成EQ-10SXR能夠將(jiang)高達(da)400毫瓦(wa)的(de)2.8nm功(gong)率提(ti)供(gong)給2pi球面弧度(du)，并能夠以高達(da)2kHz的(de)脈沖重復頻(pin)率連續運行(xing)。
為了(le)適應各種應用的(de)不同要求(qiu)，源工作條件(jian)是用戶可(ke)調的(de)。可(ke)以根據用戶要求(qiu)針對(dui)峰值(zhi)功率或峰值(zhi)亮度優化光輸出(chu)。在典型的(de)操作條件(jian)下，等離子體的(de)直徑通(tong)常小于(yu)1mm。
在無電極SXR源組件的(de)正面(mian)為用戶提供了一個簡單(dan)而靈活的(de)光(guang)學接(jie)口(kou)，以連接(jie)到應(ying)用設備。自(zi)(zi)定(ding)義界(jie)面(mian)可(ke)滿足特定(ding)的(de)客(ke)戶要求(qiu)。用戶界(jie)面(mian)通過彩色(se)觸摸屏顯示進行操作，并(bing)包(bao)含允許手(shou)動(dong)和自(zi)(zi)動(dong)操作的(de)菜單(dan)。EQ-10SXR易(yi)于安裝(zhuang)，僅需電源，冷水供應(ying)，清潔(jie)的(de)干燥壓縮(suo)空氣(qi)和高純度氮氣(qi)即可(ke)。
用于水窗顯微鏡和6.7nm研發(fa)的軟X射(she)線(xian)源
氣(qi)體選擇：使用(yong)的NIST光譜數據(ju)庫
相對強度高(gao)的搜索線：只有出現(xian)的氣體是氖氣
操作參數
430 V，1100 Hz
5.5 kW
400 mtorr
輸出功率：70 W
