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快速(su)準確的(de)雙面掃描(miao)系統
測量速(su)度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方(fang)向上(shang)移動300 mm（200 mm），橫向分辨率為50 nm，電動z軸分辨率為20 nm
2D輪廓，3D地形圖和(he)3D厚度圖
掃描范圍大
x，y，z分辨率，行程為max.300 mm（200 mm）
零件(jian)厚度max.80 mm
彩色白光傳感器
高分辨率離軸相機
CT 350T是一款非接觸式雙面(mian)光學輪廓(kuo)儀，具有300毫米x，y掃(sao)描臺。頂部(bu)和(he)底(di)部(bu)傳感器(qi)安(an)裝在行程為100 mm的高精(jing)度Z軸(zhou)上(shang)。雙面(mian)自動對(dui)焦功能(neng)甚至可以(yi)測量(liang)嚴重彎曲或彎曲的零件(jian)(jian)。兩(liang)個傳感器(qi)均收集與x，y編碼(ma)器(qi)信(xin)號(hao)同步的高度數(shu)據，并軸(zhou)向對(dui)齊以(yi)確保(bao)精(jing)確的差分厚度測量(liang)。該軟件(jian)(jian)同時從頂部(bu)和(he)底(di)部(bu)表面(mian)生成(cheng)2D輪廓(kuo)和(he)3D貼圖，并計算相應的總厚度輪廓(kuo)或貼圖。
運動(dong)系統使(shi)用快速(su)，準確的(de)磁(ci)性直線電機。通過以4 kHz的(de)數據速(su)率觸(chu)發彩色白光傳感器，可以將(jiang)檢查時(shi)間更小(xiao)化。通過在平臺孔(kong)上安裝轉(zhuan)接板，該系統可以用作標準光學(xue)表面輪廓儀，使(shi)CT 350T成(cheng)為功能廣泛(fan)的(de)表面和厚度測量系統。該系統也有較小(xiao)的(de)版本，如(ru)CT 250T，具有200 mm的(de)行(xing)程，非常適合(he)8英(ying)寸晶(jing)圓或(huo)基板和太陽能晶(jing)圓。
集(ji)成系統控制(zhi)器(qi)：包括運動控制(zhi)，傳感器(qi)控制(zhi)器(qi)（4 kHz），電源，工作站的USB接口
工(gong)作站電腦(nao)：查詢當(dang)前規格，22英寸(cun)寬屏顯示器
連接方式(shi)：以太網，DVD驅動器，USB（正面和(he)背(bei)面），并行端(duan)口，鍵(jian)盤(pan)，鼠標(biao)，DVI和(he)模擬(ni)視頻(pin)輸出(chu)
電源(yuan)要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）
測量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）
線性編碼器分辨率
X，Y：50 nm（2μin）
Z：5 nm（0.2 µin）
橫向分辨率：1微米(mi)（載物臺分辨率：50 nm）
X和Y的(de)行程(cheng)限制(zhi)（電動(dong)）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）
Z行程限制(zhi)（電(dian)動）：100 mm (4 in)
平臺上的負載：max.10 kg
可用的傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)：共焦白光傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)
工作溫度(du)：18°-20°C（64°F – 68°F）
尺寸（長X寬X高(gao)）：1290 x 1082 x 1425 [mm]（約(yue)43 x 51 x 56 [in]）
重量：650 kg (1.433 lbs)
