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機電大信(xin)號應變和極化測量。
壓電(dian)小信(xin)號(hao)系數和介電(dian)常數與直(zhi)流偏置電(dian)壓的(de)關(guan)系。如(ru)果已知剛(gang)度值(zhi)，則(ze)可以使用(yong)附加(jia)的(de)aixPlorer軟件工具(ju)從這些值(zhi)得(de)出耦合系數。
電氣和(he)機電性能(neng)疲勞。
作為電(dian)氣薄膜測試的(de)(de)(de)(de)創新者(zhe)，aixACCT Systems已將(jiang)公(gong)認的(de)(de)(de)(de)雙光束技術擴展到可(ke)(ke)商(shang)用(yong)的(de)(de)(de)(de)雙光束激(ji)(ji)光干涉(she)(she)儀系統(tong)，該系統(tong)可(ke)(ke)進行長達8英(ying)寸的(de)(de)(de)(de)晶圓表征(zheng)。用(yong)于測量(liang)d33的(de)(de)(de)(de)雙光束激(ji)(ji)光干涉(she)(she)儀（aixDBLI）可(ke)(ke)提供經過驗證的(de)(de)(de)(de)精(jing)度（x切割(ge)石英(ying)），可(ke)(ke)達0.2 pm / V。該系統(tong)的(de)(de)(de)(de)主要特點是單次測量(liang)的(de)(de)(de)(de)采集時間極短，僅為幾秒鐘。基于新的(de)(de)(de)(de)數據采集算法，測量(liang)速(su)度提高了(le)100倍(bei)。這(zhe)使得比(bi)較(jiao)了(le)以相(xiang)同(tong)激(ji)(ji)勵(li)頻率記錄的(de)(de)(de)(de)薄膜的(de)(de)(de)(de)電(dian)氣和機(ji)械數據。由于差分測量(liang)原(yuan)理(li)，消除了(le)樣品(pin)彎(wan)曲的(de)(de)(de)(de)影響，這(zhe)是使用(yong)原(yuan)子力(li)顯微鏡（AFM）進行此類測量(liang)的(de)(de)(de)(de)主要障礙。
分辨率：1 pm通過x-cut Quartz測(ce)試
位移/應變測量：
50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
Max.25 V（可選）
壓電d33系數：
偏壓（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可選(xuan)）
小信號（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V
電致伸縮M33：與d33相似
C（V）測量：
偏壓（1 mHz至(zhi)1 Hz）：100 mV至(zhi)10 V
Max.25 V（可(ke)選）
小信(xin)號（1 kHz至(zhi)10 kHz）：100 mV至(zhi)10 V
