無損(sun)成像(xiang)將時間分辨研究帶入了納米長度尺度
獨特的地形表面(mian)成像能(neng)力(生物,半導體,量(liang)子)
一根(gen)或多根(gen)帶有根(gen)據您的(de)要求配置的(de)終端(duan)站(zhan)的(de)光束(shu)線
自組裝材料(liao)中納米(mi)級有序(xu)衍(yan)射(she)
用于(yu)評估(gu)機(ji)械和薄(bo)膜特(te)性的結構(gou)泵探頭,以了解彈性響應(ying),熱傳遞和聲子模式(shi)
磁(ci)性系統的高分辨率,革(ge)命性的測量對不(bu)同(tong)的磁(ci)性層高度敏感(gan)
KMLabs QM 量(liang)子顯微鏡的光(guang)子成(cheng)像解(jie)決(jue)方案(an)是(shi)一個完全集成(cheng)的商業化平(ping)臺,可實現(xian)EUV范圍(wei)內的超快(kuai)速光(guang)譜(pu)和納米級的高對比度,近(jin)地(di)表(biao)到地(di)下成(cheng)像。它可以對成(cheng)分(fen)和結構進行基(ji)于實驗室(shi)的2D高對比度成(cheng)像,研究圖案(an)化薄膜(mo)的機(ji)械性能,深入了(le)解(jie)材(cai)料性能,以及自旋電子,ALD,2D,低密度輕質,能源,空間和光(guang)伏材(cai)料的功能表(biao)征。
通過將飛秒(miao)激(ji)光(guang)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)時間(jian)敏感(gan)性與EUV顯(xian)微(wei)鏡(jing)和(he)(he)衍射的(de)(de)(de)(de)(de)空間(jian)分辨率相結合,QM使得一系列(lie)技術可(ke)針對研究和(he)(he)工(gong)業中的(de)(de)(de)(de)(de)重要挑戰進行調(diao)整(zheng)。例如,對于電池,鋰邊緣附近的(de)(de)(de)(de)(de)EUV吸收提供了(le)微(wei)觀和(he)(he)光(guang)譜上豐富(fu)的(de)(de)(de)(de)(de)區域(yu),以(yi)了(le)解鋰鍵(jian)合。對于半(ban)導體(ti),QM提供了(le)獨特的(de)(de)(de)(de)(de)對鍵(jian)合敏感(gan)的(de)(de)(de)(de)(de)掩埋和(he)(he)表面納(na)米形貌的(de)(de)(de)(de)(de)關鍵(jian)細節。QM 量子顯(xian)微(wei)鏡(jing)完(wan)全可(ke)配置(zhi),包括激(ji)光(guang)源(yuan)(EUV和(he)(he)/或(huo)VUV),放大器(qi),根據(ju)用(yong)戶實驗量身定制的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)束線以(yi)及可(ke)有效覆蓋納(na)米/量子材料的(de)(de)(de)(de)(de)顯(xian)微(wei)鏡(jing)/光(guang)譜學領(ling)域(yu)的(de)(de)(de)(de)(de)成像或(huo)其(qi)他分析工(gong)作(zuo)站。
集成的高性能超快EUV激光源
高(gao)分(fen)辨率干涉測(ce)量表面和亞表面成像
x/y空間分辨率小于20 nm
具(ju)有可配置終端站的多用(yong)途(tu)束線(xian)
泵(beng)浦探頭(tou)(XUV泵(beng)浦/ IR探頭(tou))設計(ji)
可擴展至VUV(60-150 nm或8.3至20.7 eV)