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產品介紹
35年(nian)來，我們一直(zhi)在(zai)為光學(xue)涂層和(he)等(deng)離(li)子體蝕刻(ke)行業開發現場(chang)監(jian)測和(he)控制儀器。Intellemetrics推出(chu)了一系列(lie)晶圓(yuan)視覺系統，專門(men)設計用(yong)于在(zai)負載鎖定真空蝕刻(ke)和(he)沉(chen)積(ji)(ji)室內(nei)觀察圖案化(hua)晶圓(yuan)，以(yi)檢查是否已(yi)加載正確的晶圓(yuan)，并確認相對于掩模圖案的對齊(qi)和(he)放置。圖像分(fen)辨(bian)率(lv)取決于工作(zuo)距離(li)和(he)視場(chang)，但(dan)通常在(zai)5mm的工作(zuo)距離(li)（適用(yong)于ICP蝕刻(ke)和(he)沉(chen)積(ji)(ji)室）和(he)600mm視場(chang)下可以(yi)獲得7μm的分(fen)辨(bian)率(lv)。
性能特點
- 5 M 像素高分辨率相機圖像
- 共線晶圓照明
- 成像距離從100mm到1000mm
- 可見特征尺寸低至 5um
- 手動和電動對焦選項
技術參數
- 產地：英國
- 攝像頭：
- 傳感器類型：CMOS
- 傳感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
- 像素大小：2.2um
- 電源要求：
- 接口：GigE
- 電源：12至24 Vdc
- 功耗：3.5W
- 是否進口：是
- 封裝：廠家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
產品參數
