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產品介紹
35年來，我們一直在(zai)為光(guang)學涂層和(he)等離子體蝕刻行業(ye)開(kai)發現場監測(ce)和(he)控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶(jing)圓(yuan)視覺系統，專門(men)設計用于在(zai)負載(zai)鎖定(ding)真空蝕刻和(he)沉積(ji)室(shi)內觀察圖(tu)案化晶(jing)圓(yuan)，以(yi)(yi)檢查是(shi)否已加載(zai)正確的(de)晶(jing)圓(yuan)，并確認相對(dui)于掩(yan)模圖(tu)案的(de)對(dui)齊和(he)放置。圖(tu)像(xiang)分辨率取決于工(gong)作距(ju)離和(he)視場，但通常在(zai)5mm的(de)工(gong)作距(ju)離（適用于ICP蝕刻和(he)沉積(ji)室(shi)）和(he)600mm視場下可以(yi)(yi)獲(huo)得7μm的(de)分辨率。
性能特點
- 5 M 像素高分辨率相機圖像
- 共線晶圓照明
- 成像距離從100mm到1000mm
- 可見特征尺寸低至 5um
- 手動和電動對焦選項
技術參數
- 產地：英國
- 攝像頭：
- 傳感器類型：CMOS
- 傳感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
- 像素大小：2.2um
- 電源要求：
- 接口：GigE
- 電源：12至24 Vdc
- 功耗：3.5W
- 是否進口：是
- 封裝：廠家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
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