EOTPR 3000系(xi)統配置了一個(ge)手(shou)動探針臺,以滿(man)足當今惡(e)劣(lie)的(de) FA 環(huan)境(jing)(jing),該環(huan)境(jing)(jing)需要在幾分鐘而不是幾小時(shi)或幾天內隔離故(gu)障位(wei)置,同時(shi)保(bao)持 EOTPR 世界領頭(tou)的(de)亞 5 微米故(gu)障隔離精(jing)度。
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