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產品介紹
ResMap Model 178已成(cheng)為成(cheng)本(ben)效益電(dian)阻率(lv)測量(liang)的行(xing)業標準。該四點(dian)探針旨在滿足工藝開發和(he)(he)工具表征工程師的需(xu)求，具有所需(xu)的準確性(xing)(xing)、可重復性(xing)(xing)和(he)(he)可靠性(xing)(xing)。其(qi)龐大的安裝基礎證明了其(qi)性(xing)(xing)能、易用性(xing)(xing)和(he)(he)低擁有成(cheng)本(ben)。
CDE的成立旨在(zai)為(wei)半導體(ti)及(ji)相關行業(ye)開發(fa)和(he)制造(zao)高性(xing)能、高性(xing)價比的晶(jing)圓計量工具。CDE ResMap是一系(xi)列適(shi)用于各種應用的自動電阻率(lv)測繪系(xi)統(tong)。4點探針測量工具是一種儀器，用于測量導電介質（通常是半導體(ti)應用的薄(bo)膜）中的薄(bo)層電阻（或Rs）。
性能特點
- 準確性
- 可重復性
- 可靠性
技術參數
- 晶片處理：手動裝載
- 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
- 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
- 典型測量時間：每個站點1秒
- max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個站點）
- 測量范圍：2米?/-5米?/（可以優化到1米?/）
- 重復性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態或Rs-pack）；≤±0.1%（動態近點）
- 精度：使用NIST traceableResCal標準≤±0.5%
- min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
- 交流電源：100V至240V<10 KVA
- 產地：美國
產品參數
