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ResMap Model 178已成為(wei)成本效益電(dian)阻率測量的行業標準。該(gai)四點探針旨在(zai)滿(man)足(zu)工(gong)(gong)藝開發和工(gong)(gong)具表征工(gong)(gong)程師(shi)的需求，具有(you)所需的準確性(xing)、可(ke)重復性(xing)和可(ke)靠性(xing)。其龐(pang)大的安裝基礎(chu)證明(ming)了其性(xing)能、易用(yong)性(xing)和低擁有(you)成本。
CDE的(de)(de)成立旨(zhi)在(zai)為半導體及相關行業開(kai)發和制造高性(xing)能、高性(xing)價比的(de)(de)晶圓計量工具。CDE ResMap是(shi)(shi)一(yi)系列適用(yong)于(yu)各種應(ying)用(yong)的(de)(de)自動(dong)電(dian)(dian)(dian)阻率測繪系統。4點探針(zhen)測量工具是(shi)(shi)一(yi)種儀器，用(yong)于(yu)測量導電(dian)(dian)(dian)介質（通常(chang)是(shi)(shi)半導體應(ying)用(yong)的(de)(de)薄膜）中的(de)(de)薄層電(dian)(dian)(dian)阻（或Rs）。
性能特點
- 準確性
- 可重復性
- 可靠性
技術參數
- 晶片處理：手動裝載
- 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
- 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
- 典型測量時間：每個站點1秒
- max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個站點）
- 測量范圍：2米?/-5米?/（可以優化到1米?/）
- 重復性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態或Rs-pack）；≤±0.1%（動態近點）
- 精度：使用NIST traceableResCal標準≤±0.5%
- min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
- 交流電源：100V至240V<10 KVA
- 產地：美國
產品參數
