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產品介紹
迄今為止，我們積累(lei)的知識已生產出(chu) 600 多種(zhong)類(lei)型的被動(dong)隔振器(qi)。對我們的主動(dong)隔振器(qi)的需求也在不斷增(zeng)長，尤其是在半(ban)導體等高精度制造(zao)行(xing)業。以MAPS系(xi)(xi)列為基(ji)礎，開發(fa)出(chu)高性能合理的主動(dong)氣動(dong)懸(xuan)架(jia)系(xi)(xi)統MRZ系(xi)(xi)列。可(ke)應(ying)用(yong)于半(ban)導體設備、電子(zi)顯微鏡、測量機等。
性能特點
- 每個單元有兩個氣壓執行器：垂直和水平，可以體驗良好的隔振、準確定位性能。
- FB+FloorFF控制。
- 實現輕巧緊湊，省電，價格合理。
技術參數
- 產地:日本
- 供給氣壓:0.6～0.8(潔凈干燥空氣)MPa
- 典型耗氣量:45-65l/min
- 最大耗氣量:120l/min
- 電源電壓:100～240(單相交流電，50/60Hz)V
- 最大功耗:120VA
- 環境溫度:0～40℃
- 相對濕度:35-85%RH
- 隔振方式:通過氣壓控制隔振
- 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
- 控制器質量:7.5kg
產品參數
