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產品介紹
迄今為(wei)止，我(wo)們(men)(men)積累的(de)(de)知識已生(sheng)產出 600 多種類型的(de)(de)被動(dong)(dong)隔振器。對我(wo)們(men)(men)的(de)(de)主動(dong)(dong)隔振器的(de)(de)需求(qiu)也在不斷增(zeng)長，尤其是在半導體(ti)等高精(jing)度(du)制造行業。以MAPS系(xi)列為(wei)基礎，開(kai)發出高性能合理的(de)(de)主動(dong)(dong)氣動(dong)(dong)懸架系(xi)統MRZ系(xi)列。可應用于半導體(ti)設(she)備、電(dian)子顯微(wei)鏡、測量機等。
性能特點
- 每個單元有兩個氣壓執行器：垂直和水平，可以體驗良好的隔振、準確定位性能。
- FB+FloorFF控制。
- 實現輕巧緊湊，省電，價格合理。
技術參數
- 產地:日本
- 供給氣壓:0.6～0.8(潔凈干燥空氣)MPa
- 典型耗氣量:45-65l/min
- 最大耗氣量:120l/min
- 電源電壓:100～240(單相交流電，50/60Hz)V
- 最大功耗:120VA
- 環境溫度:0～40℃
- 相對濕度:35-85%RH
- 隔振方式:通過氣壓控制隔振
- 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
- 控制器質量:7.5kg
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