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TESCAN S9000G是一種鎵FIB-SEM系統(tong)，旨在進行先進的(de)(de)(de)超薄TEM樣品(pin)制備(bei)(bei)和(he)其他(ta)具(ju)(ju)有(you)挑戰性的(de)(de)(de)制造任務，這(zhe)些任務需要(yao)分辨率以及新(xin)的(de)(de)(de)離子(zi)光學(xue)(xue)和(he)加工(gong)能(neng)力。TESCAN S9000G采用(yong)Triglav SEM柱，具(ju)(ju)有(you)高分辨率和(he)優(you)異的(de)(de)(de)性能(neng)，改(gai)進了束內檢(jian)測系統(tong)，具(ju)(ju)有(you)過濾電(dian)子(zi)信號收集(ji)功(gong)能(neng)，為(wei)新(xin)的(de)(de)(de)對(dui)比度(du)和(he)增強的(de)(de)(de)表面(mian)靈敏度(du)打(da)開了窗(chuang)口(kou)。TESCAN S9000G配備(bei)(bei)Orage FIB柱，不僅在制造精度(du)方面(mian)達到高標準，而(er)且可以使(shi)用(yong)高離子(zi)束電(dian)流；從而(er)使(shi)進行大(da)體(ti)積樣品(pin)分析成(cheng)為(wei)可能(neng)。此外，高達100nA的(de)(de)(de)高離子(zi)束電(dian)流能(neng)夠以優(you)異的(de)(de)(de)對(dui)比度(du)對(dui)生物樣本和(he)材(cai)料進行特(te)定(ding)位置的(de)(de)(de)大(da)體(ti)積FIB-SEM斷層掃描。TESCAN S9000G由新(xin)的(de)(de)(de)Essence軟件接口(kou)控制，該接口(kou)具(ju)(ju)有(you)易于學(xue)(xue)習、面(mian)向應(ying)用(yong)和(he)可定(ding)制的(de)(de)(de)布局，以及具(ju)(ju)有(you)樣品(pin)制備(bei)(bei)自動化功(gong)能(neng)的(de)(de)(de)軟件模塊。所有(you)功(gong)能(neng)都旨在輕松實現(xian)控制和(he)大(da)吞吐量。
- 優異的樣品制備質量
- 大限度地制備各類樣品
- 更充分的利用離子束
- 更加優異的成像能力
- 快速三維分析功能
- 增強的表面靈敏度、襯度
- 產地：捷克
- 電子光學：
- 電子光學：配備三透鏡復合TriLens物鏡的Triglav柱
- 電子槍：高亮度肖特基發射極
- 最大視野：
- WD Analytical 5 mm時為4.3 mm WD 30 mm時為7.0 mm
- 電子束能量：使用BDT選項，200 eV至30 keV/降至50 eV
- 探針電流：2 pA至400 nA
- 離子光學：
- 離子柱：Orage Ga-FIB柱
- 離子槍：Ga液態金屬離子源
- 離子束能量：0.5 keV至30 keV
- 探針電流：<1 pA至100 nA
- 分辨率：30keV時＜2.5 nm（在SEM-FIB重合點）
- SEM-FIB角度：55°
- 半導體器件的物理失效分析
- 生物標本的FIB-SEM斷層掃描
