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TESCAN顯微鏡S9000G

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  • 品牌名稱：TESCAN
  • 規格型號：S9000G
產品介紹

TESCAN S9000G是一種鎵FIB-SEM系(xi)統，旨在(zai)進行先進的超薄TEM樣(yang)品制備(bei)和(he)(he)其他具(ju)有挑戰性的制造(zao)任務(wu)，這些(xie)任務(wu)需要分(fen)辨率(lv)以(yi)及(ji)新(xin)的離(li)子(zi)(zi)光學(xue)和(he)(he)加工能(neng)力。TESCAN S9000G采用(yong)Triglav SEM柱(zhu)，具(ju)有高分(fen)辨率(lv)和(he)(he)優異的性能(neng)，改(gai)進了束內檢(jian)測系(xi)統，具(ju)有過濾(lv)電(dian)子(zi)(zi)信(xin)號收集功(gong)能(neng)，為新(xin)的對比度(du)和(he)(he)增強(qiang)的表面靈(ling)敏度(du)打(da)開了窗口(kou)(kou)。TESCAN S9000G配備(bei)Orage FIB柱(zhu)，不(bu)僅在(zai)制造(zao)精度(du)方面達到(dao)高標準，而(er)且可以(yi)使用(yong)高離(li)子(zi)(zi)束電(dian)流；從而(er)使進行大(da)體積樣(yang)品分(fen)析成為可能(neng)。此(ci)外(wai)，高達100nA的高離(li)子(zi)(zi)束電(dian)流能(neng)夠以(yi)優異的對比度(du)對生物樣(yang)本和(he)(he)材料進行特(te)定位置的大(da)體積FIB-SEM斷層掃描。TESCAN S9000G由新(xin)的Essence軟件接口(kou)(kou)控制，該接口(kou)(kou)具(ju)有易于學(xue)習、面向應用(yong)和(he)(he)可定制的布局，以(yi)及(ji)具(ju)有樣(yang)品制備(bei)自(zi)動化功(gong)能(neng)的軟件模(mo)塊。所有功(gong)能(neng)都旨在(zai)輕松實現(xian)控制和(he)(he)大(da)吞吐量(liang)。

性能特點
  • 優異的樣品制備質量
  • 大限度地制備各類樣品
  • 更充分的利用離子束
  • 更加優異的成像能力
  • 快速三維分析功能
  • 增強的表面靈敏度、襯度
技術參數
  • 產地：捷克
  • 電子光學：
  • 電子光學：配備三透鏡復合TriLens物鏡的Triglav柱
  • 電子槍：高亮度肖特基發射極
  • 最大視野：
  • WD Analytical 5 mm時為4.3 mm WD 30 mm時為7.0 mm
  • 電子束能量：使用BDT選項，200 eV至30 keV/降至50 eV
  • 探針電流：2 pA至400 nA
  • 離子光學：
  • 離子柱：Orage Ga-FIB柱
  • 離子槍：Ga液態金屬離子源
  • 離子束能量：0.5 keV至30 keV
  • 探針電流：<1 pA至100 nA
  • 分辨率：30keV時＜2.5 nm（在SEM-FIB重合點）
  • SEM-FIB角度：55°
產品應用
  • 半導體器件的物理失效分析
  • 生物標本的FIB-SEM斷層掃描
產品參數

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