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產品介紹
GT45A是一(yi)款基(ji)于(yu)ArF浸(jin)沒式光(guang)刻光(guang)源(yuan)GT65A平臺，具備高功(gong)能擴(kuo)展性的(de)(de)(de)機型(xing)。通過(guo)搭載新型(xing)模塊實(shi)現的(de)(de)(de)“高運(yun)轉率”、繼(ji)承當(dang)前機型(xing)GT40A的(de)(de)(de)“無(wu)氦氣”技(ji)術，可(ke)以在提高生產(chan)率的(de)(de)(de)同時，減輕(qing)環(huan)境負(fu)荷(he)。通過(guo)光(guang)譜(pu)寬度的(de)(de)(de)穩定性改善、可(ke)變光(guang)譜(pu)技(ji)術、高可(ke)達(da)90W的(de)(de)(de)高輸出(chu)功(gong)率，滿足客戶的(de)(de)(de)多樣化需(xu)求。
性能特點
模塊壽命延長技術
降低維護頻率
提高生產率
減輕環境負荷
可選功能與配件
可以搭(da)載GT65A可使用(yong)的功能和技術
技術參數
產地：日本
發(fa)射波長：193 nm
平均輸(shu)出功率(lv)：45 – 90 W
脈沖能量：11.25 – 15 mJ
發射(she)頻率：4,000 – 6,000 Hz
光譜幅度（以(yi) 95 %能量累計，E95,）：≤0.5 pm
數據(ju)采集：監控的方(fang)式
輸出方式：晶圓輸出
光譜帶寬：可變化
光譜寬度：穩定
產品應用
半導體工業
產品參數
