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產品介紹
GT45A是一款基于ArF浸沒(mei)式光(guang)刻光(guang)源GT65A平臺，具(ju)備高(gao)功(gong)能擴展性(xing)的(de)機型(xing)。通(tong)過搭載新型(xing)模塊實現的(de)“高(gao)運轉率”、繼承當(dang)前機型(xing)GT40A的(de)“無氦氣”技術，可(ke)(ke)以在提高(gao)生產率的(de)同時(shi)，減輕環(huan)境負荷。通(tong)過光(guang)譜(pu)寬(kuan)度的(de)穩定(ding)性(xing)改善、可(ke)(ke)變光(guang)譜(pu)技術、高(gao)可(ke)(ke)達(da)90W的(de)高(gao)輸(shu)出功(gong)率，滿(man)足(zu)客戶(hu)的(de)多樣化需求(qiu)。
性能特點
模塊壽命延長技術
降低維護頻率
提高生產率
減輕環境負荷
可選功能與配件
可以搭載GT65A可使用的(de)功能和技術
技術參數
產地：日本
發射波(bo)長(chang)：193 nm
平均(jun)輸出功率：45 – 90 W
脈沖能量：11.25 – 15 mJ
發射頻率：4,000 – 6,000 Hz
光譜幅度（以 95 %能(neng)量(liang)累計，E95,）：≤0.5 pm
數據采集：監控的方式
輸出方式：晶圓輸出
光譜帶寬：可變化
光譜寬度：穩定
產品應用
半導體工業
產品參數
