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maxLIGHT 采(cai)用無(wu)縫設(she)計，可(ke)提供(gong)光(guang)(guang)(guang)收集量(liang)和(he)(he)業內高(gao)效(xiao)率。經(jing)像(xiang)差校正的(de)平場波(bo)長覆(fu)蓋范圍(wei)從 1nm 到 200nm，光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)帶寬寬廣，例如(ru)每個光(guang)(guang)(guang)柵可(ke)覆(fu)蓋 5-80nm 的(de)波(bo)長。maxLIGHT 具有集成的(de)狹縫支(zhi)架和(he)(he)濾(lv)光(guang)(guang)(guang)片(pian)插(cha)入裝置，以(yi)及(ji)電動(dong)光(guang)(guang)(guang)柵定位(wei)裝置。檢(jian)測器選項包(bao)括用于高(gao)分辨(bian)率和(he)(he)動(dong)態范圍(wei)的(de) XUV CCD，以(yi)及(ji)用于寬波(bo)長覆(fu)蓋范圍(wei)和(he)(he)門(men)控(kong)/增強檢(jian)測的(de) MCP/CMOS 檢(jian)測器。采(cai)用直接光(guang)(guang)(guang)源成像(xiang)。因此，無(wu)需狹窄(zhai)的(de)入口狹縫，可(ke)大(da)限度地收集光(guang)(guang)(guang)線。與傳統的(de)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀結(jie)構相比，到達光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀探測器的(de)光(guang)(guang)(guang)量(liang)增加了(le) 20 倍。這種結(jie)構還(huan)大(da)大(da)提高(gao)了(le)日(ri)常運行的(de)穩定性。
平場掠入射光譜儀
采用專有的無狹縫(feng)設(she)計，效率高
波長范圍從 1 nm到 200 nm
集成示波器
模塊化交鑰匙設計
無磁、旋轉幾何、偏振等
產地：德國
拓撲結構：像(xiang)差(cha)校(xiao)正平場(chang)光(guang)譜儀和光(guang)束輪廓儀
光源距離：靈活
探測(ce)器：CCD 或 MCP/CMOS
工作壓力：<10-6 mbar（提(ti)供(gong) UHV 版本(ben)）
無縫技術：是
入口狹縫：可選
光柵定位：電動閉環
光譜濾波器(qi)插入單(dan)元：是(shi)
控制接口：USB 或以太網
軟件：Windows UI 和 Labview/VB/C/C++ SDK
可定制：完全可定制
波長范圍：1-20 nm
色散(san)：0.2-0.4 nm/mm
分辨率(lv)：在 10 nm處(chu) <0.015 nm
高次(ci)諧波發生源(yuan)、阿(a)秒科學、強激(ji)(ji)光(guang)(guang)物質相互作用、自由電子(zi)激(ji)(ji)光(guang)(guang)器(qi)、激(ji)(ji)光(guang)(guang)和(he)放電產生的等離(li)子(zi)體源(yuan)、X 射(she)線激(ji)(ji)光(guang)(guang)器(qi)、激(ji)(ji)光(guang)(guang)驅動的二次(ci)光(guang)(guang)源(yuan)
