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Inprentus可(ke)(ke)(ke)(ke)為EUV應(ying)用(yong)提供(gong)定制的(de)主光(guang)(guang)柵(zha)，在(zai)(zai)這些應(ying)用(yong)中(zhong)，優化(hua)光(guang)(guang)學效率、儀器(qi)緊湊性(xing)和(he)性(xing)能是下一代(dai)處理實驗室的(de)任務。Inprentus 能夠利(li)用(yong)高(gao)可(ke)(ke)(ke)(ke)變(bian)線間距 (VLS) 制造(zao)具有(you)強聚焦能力的(de)衍(yan)(yan)射光(guang)(guang)柵(zha)。這使(shi)(shi)得光(guang)(guang)斑尺(chi)寸更(geng)小，工作波長的(de)光(guang)(guang)線更(geng)明(ming)亮。衍(yan)(yan)射光(guang)(guang)柵(zha)可(ke)(ke)(ke)(ke)在(zai)(zai)設計波長內外使(shi)(shi)用(yong)，具有(you)多種(zhong)尺(chi)寸和(he)規格，可(ke)(ke)(ke)(ke)實現緊湊型儀器(qi)設計和(he)升級(ji)。Inprentus 還與客戶密切合作，在(zai)(zai)光(guang)(guang)柵(zha)母(mu)版(ban)中(zhong)提供(gong)定制的(de)熾熱角，以便在(zai)(zai)現有(you)儀器(qi)或下一代(dai)儀器(qi)升級(ji)中(zhong)實現直接替換。
現(xian)代化的衍(yan)射光柵(zha)機械固定方法
效率高和聚焦效果好
利(li)用(yong)高可(ke)變線(xian)間距（VLS）制造具有強聚焦(jiao)能力的衍(yan)射(she)光柵
優化減小光斑尺寸
可(ke)在設(she)計波長(chang)內外使用
實現緊湊型儀(yi)器設計和升級
提供定制的熾熱角
產地：美國
熾(chi)熱(re)角：0.1° 到 80° 不等(deng)
VLS - 可變(bian)線間距 (VLS)
埃歇爾光(guang)柵類型(xing)：埃歇爾光(guang)柵
判讀：在凹(ao)面(mian)、環面(mian)、橢(tuo)圓面(mian)等(deng)曲(qu)面(mian)基底上(shang)進(jin)行
分辨率：超過(guo) 100,000（取決于其(qi)他規(gui)格）
基(ji)底和(he)涂層：高損傷閾值
尺寸： 500 x 200 毫米(mi)
線密度(du)：50 到 3000 升/毫米
表面：硅(gui)或熔融石英基(ji)底(di)的鍍金(jin)（Au）
單色(se)儀(yi)、反(fan)射(she)儀(yi)、散射(she)儀(yi)等，光(guang)(guang)發射(she)光(guang)(guang)譜、X 射(she)線(xian)和(he)紫外線(xian)衍射(she)光(guang)(guang)學以及各種激光(guang)(guang)光(guang)(guang)學應用。
