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COHERENT準分子激光器COMPex 50

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  • 品牌名稱:COHERENT
  • 規格型號:COMPex 50
產品介紹

COMPex準(zhun)分子激光(guang)器(qi)是(shi)效率高(gao)的(de)(de)(de)光(guang)源,具有緊湊(cou)的(de)(de)(de)設計和易于安(an)裝和操作的(de)(de)(de)特點。它們(men)在(zai)要(yao)求苛(ke)刻(ke)的(de)(de)(de)應用(yong)中提供更佳的(de)(de)(de)結果,如固(gu)體取樣系統(LA-ICPMS)、材料(liao)(liao)研究(PLD)和準(zhun)確的(de)(de)(de)材料(liao)(liao)處理。COMPex具有陶(tao)瓷預電離(li)功能,可提供高(gao)達100毫焦(jiao)耳的(de)(de)(de)輸出,以及脈沖(chong)上脈沖(chong)穩定(ding)性。COMPex還配備了一(yi)個改(gai)進(jin)的(de)(de)(de)氣體處理器(qi),可以延長氣體和光(guang)學壽命。

性能特點
  • 選擇157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波長,實現全材料柔性
  • 高達750 mJ的更好的脈沖能量,可在大視場下進行有效消融
  • 75%的脈沖穩定性,均方根值,確保高通量控制
  • 基礎脈沖控制和系統參數記錄,提供智能和可復制的薄膜
技術參數

產地:美國

波長:193 nm

脈沖能量:100 mJ

重復頻(pin)率:max.50 Hz

平均功率:4 W

能量穩定性(1西格瑪):≤0.75%

脈沖持(chi)續時間(FWHM):典型值20 ns

橫梁尺寸(V x H,FWHM):典型值14 x 5 mm2

光束發散(V x H,FWHM):典型值2 x 1 mrad2

光束指(zhi)向穩定(ding)性(1 sigma):≤50µrad

水冷(leng):≤5升/分(fen)鐘(1.3加侖(lun)/分(fen)鐘),10至20°C

連接:1/2“

重量:280公斤(jin)(617磅(bang))

尺(chi)寸(長x寬x高):1258 x 375 x 813 mm³

(50 x 15 x 32 in.³)

產品尺寸

產品應用

PLD–脈沖激光沉積

薄晶圓加工

激光剝離

LA-ICP-MS

產品參數

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