VT750是(shi)用(yong)于(yu)生產(chan)、質量檢驗和(he)計量實驗室環境的干(gan)涉(she)儀(yi)塔。此(ci)外,還(huan)提(ti)供“tower only”版本“B”,用(yong)于(yu)集成現(xian)有或第三方干(gan)涉(she)儀(yi)單元,或配(pei)備ZYGO Verifire和(he)ZYGO MX條(tiao)紋分(fen)析(xi)軟件的版本“Z”。該系統(tong)可以(yi)配(pei)備PC桌、2個屏(ping)幕(mu)、鼠標和(he)鍵盤,也可以(yi)配(pei)備內置(zhi)PC和(he)觸摸面板(ban),以(yi)優化操(cao)作(zuo)并(bing)更(geng)大(da)限度地(di)減少生產(chan)環境中的空間需(xu)求。
VT750 ST:配(pei)備XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),帶10倍(bei)光學(xue)變焦和(he)靜態條紋分(fen)析系統(tong)XONOX“X-fringe ST”
VT750 PS2:配備(bei)XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),帶10倍光學變焦,相移條紋分析(xi)系統(tong)XONOX“X-frige²”和壓電移相器XONOX”X-phase PMR“
VT750 Z:帶ZYGO Verifire 4“或6”干涉儀單元和(he)Mx相移條(tiao)紋分析
VT750 B:用于(yu)集成現有干涉儀單元(yuan)的“tower only”版本。
可選配XONOX條紋分(fen)析(xi)系(xi)統(tong)X-fringe²ST或帶(dai)X相PMR移相器的X-fridge²PS。
產地:美國
行(xing)程范圍:max.750mm(800mm線性刻(ke)度范圍)
測試直徑:max.200mm(取決于(yu)使用的TS和零件支(zhi)架)
測量(liang)系統:帶PC接(jie)口和溫(wen)度擴展補償(chang)功能的(de)增量(liang)高精度線性測量(liang)系統(標準(zhun))/可(ke)選(xuan)激光放電測量(liang)系統(可(ke)選(xuan))
測量精度:20°C時每500mm高達(da)+/-0.7μm
分辨率:高達0.1µm(標準(zhun)0.5µm)
尺寸(寬x深x高):800 x 900 x 2100 mm
(如(ru)果使(shi)用PC進行條紋分析,則(ze)需要(yao)額外的(de)空間(jian),XONOX PC臺可(ke)選)
連接:10-240V/50-60Hz
壓縮空氣:6bar
重量:約500kg
顏色:淺灰色RAL 7035