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產品介紹
OTFC系(xi)列是用于生產(chan)紅外(wai)截止濾(lv)光片(pian)、分(fen)色濾(lv)光片(pian)等成膜(mo)的真(zhen)空鍍膜(mo)裝(zhuang)置。
性能特點
- 真空室尺寸：Φ600-1800mm
- 60點/80點式光學膜厚監控
- 使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
- 搭載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以上
- 利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
- 工件架可選擇鐘罩式或行星式
- 排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
技術參數
產地：日本
真空室：SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件(jian)架(jia)：φ 790mm
工件架(jia)轉速：10 rpm to 30 rpm (可變)
光(guang)學膜厚(hou)控(kong)制(zhi)：HOM2-R-VIS350A光(guang)學膜厚(hou)監(jian)控(kong)儀
波(bo)長(chang)范圍350nm到(dao)1100nm
反射式/透射式可選
水(shui)晶式(shi)膜厚計XTC/3+6點(dian)式(shi)水(shui)晶傳感器
蒸發源：電子槍2套
離子源：10cm RF 離子源
排氣系統：機械泵+1個(ge)擴散(san)泵+Polycold（或(huo)1個(ge)冷(leng)凝泵）
達到壓力：7.0 × 10-5 Pa 以下
基板溫度：350℃
設(she)備尺寸：4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
電源：3相(xiang),200v,50/60Hz, 約80KVA
水流量：80升(sheng)/分以(yi)上
空氣壓力：0.5MPa 以上
重量：約5400kg
產品參數
