Preciseley MEMS 傾斜鏡設計為(wei)準靜態模(mo)式,在開環運行時具有良(liang)好(hao)的(de)穩(wen)定性(xing)(xing)和可重復性(xing)(xing),無需額(e)外的(de)反(fan)饋(kui)。通過超低電流模(mo)擬電壓(ya)輸入(ru)進行控制(zhi)。
產地:加拿大
鏡面(mian)直徑:Ø0.82, Ø1.0, Ø1.2,Ø1.5, Ø3.5 mm
鏡面平整度(du):0.8...5 m
反射率(lv)(鋁(lv)或(huo)金(jin)反射器):96...99 %
功率處理:max.500 mW
損壞電(dian)壓:min.70 V
啟動電壓:max.60 V
傾斜(xie)角(jiao)度:max.+/- 7.5°(X),max.+/- 7.5°(Y)
諧(xie)振頻(pin)率:1300...2100Hz(X),1100...2100Hz(Y)
響應時(shi)間:max.1 ms
溫(wen)度穩定性:0.001°C
耐久性(氣密(mi)(mi)密(mi)(mi)封):10^9
工作溫度:-5...+75°C
存儲(chu)溫度范圍:-40...85°C
烘烤溫度:max.110°C
焊線(xian)溫(wen)度:max.150°C