Preciseley MEMS 傾斜鏡設計為準靜態(tai)模(mo)式,在開環運行時具有良好(hao)的穩定性和可重復性,無需額外的反饋。通過超(chao)低電流(liu)模(mo)擬電壓(ya)輸入進(jin)行控制。
產地:加拿大
鏡面直(zhi)徑:Ø0.82, Ø1.0, Ø1.2,Ø1.5, Ø3.5 mm
鏡面(mian)平整度(du):0.8...5 m
反射率(鋁或金反射器):96...99 %
功率處理(li):max.500 mW
損(sun)壞電壓(ya):min.70 V
啟動電壓:max.60 V
傾(qing)斜角度:max.+/- 7.5°(X),max.+/- 7.5°(Y)
諧振頻率:1300...2100Hz(X),1100...2100Hz(Y)
響應時(shi)間:max.1 ms
溫度穩定性:0.001°C
耐(nai)久性(氣密(mi)密(mi)封(feng)):10^9
工作溫(wen)度:-5...+75°C
存儲溫度范(fan)圍:-40...85°C
烘烤(kao)溫(wen)度(du):max.110°C
焊線溫(wen)度:max.150°C