Marana-X 是 Andor 為直接(jie) EUV 和(he)軟 X 射線應用量身定(ding)制(zhi)的(de)(de)開創性(xing) sCMOS 平臺。手(shou)工(gong)打造，提(ti)供好的(de)(de)性(xing)能和(he)多(duo)功能性(xing) Marana-X 在不(bu)到 50 毫秒的(de)(de)時間內(nei)讀(du)取(qu) 4.2 兆像(xiang)素高分辨率陣列，同時保持(chi)低的(de)(de)讀(du)取(qu)噪(zao)聲；比類似分辨率的(de)(de) CCD 探測器快數百倍。

與現有(you)的(de) CCD 相比(bi)，新型 Marana-X sCMOS 在 EUV-1 keV 能(neng)量(liang)(liang)范(fan)圍(wei)內(nei)具有(you)更高的(de)量(liang)(liang)子效率。 Marana-X 、的(de)量(liang)(liang)子效率與其CMOS 技術相得益彰，可通(tong)過 74 fps 全幀快速實(shi)現實(shi)驗時間的(de)更小(xiao)化和更大的(de)數(shu)據吞吐量(liang)(liang)。

• 高達 99% 的 QE 和低噪聲：適合光不足測量的最大信噪比。 更快地實現高對比度。
• 真空冷卻至 -45℃：非常微弱的信號需要更低的本底噪聲和更長的曝光時間：不要受到相機熱噪聲的限制
• 2 百萬像素：高像素分辨率，在擴展視野范圍內保持圖像清晰度。
• 未鍍膜的背照式 sCMOS：Marana-X 采用了無涂層背照式 sCMOS 傳感器，可實現EUV - 軟 X 射線檢測。
• 擴展動態范圍 (EDR) 模式：在整個動態范圍內“一次定量”，在同一圖像中捕獲高強度和低強度圖像。
• 7% 線性度：在整個信號范圍內的定量精度。
• 標配風扇和液體冷卻：液體冷卻可實現更大靈敏度

傳(chuan)感器(qi)類型：背照式科學 CMOS

陣列尺寸：2048 (W) x 2048 (H)

4.2 百萬像素

像素(su)尺(chi)寸：6.5 x 6.5 μm

圖像(xiang)區：13.3 毫(hao)米 x 13.3 毫(hao)米

（對(dui)角線 18.8 毫米）

讀出模式：滾動快門

像(xiang)素讀出(chu)率： 310 MHz（快速(su)高動態(tai)范圍模式(shi)，16 位）

180 MHz（低噪聲模(mo)式，12 位）

 量子效率(lv)：高達 99%

讀取噪聲 (e-) 中值：1.6 e-（快(kuai)速(su)高動態(tai)范圍(wei)模式，16 位）

1.2 電子(zi)-（低噪聲(sheng)模(mo)式(shi)，12 位）

傳感器工作溫度

風冷(leng)：-25°C（max.30°C 環境(jing)溫(wen)度(du)）

水冷/液冷：-45°C（@16°C 水）

暗電流

風冷 (@-25°C) ：0.15 e-/像素(su)

水冷/液冷 (@ -45°C) ：0.10 e-/像(xiang)素

有效區(qu)域像素井深度：

55 000 e-（快速高動態范圍模式，16 位(wei)）

1800 e-（低噪聲模式(shi)，12 位，位深度受限(xian)）

動(dong)(dong)態(tai)范圍：34 000:1（快速高動(dong)(dong)態(tai)范圍模式，16 位）

數據范(fan)圍：16 位（快(kuai)速高(gao)動態范(fan)圍模(mo)式）

12 位（低噪(zao)聲(sheng)模式）

線性(xing)：> 99.7%

PRNU：< 0.5% (@半光(guang)范圍)

感興趣區域(yu) (ROI) ：用戶可定義，1 像素粒度，

Min.尺(chi)寸 9（寬(kuan)）x 1（高）

預定義 ROI：1608 x 1608、1200 x 1200、1024×1024、512×512、128×128

像素合并（在 FPGA 上）：2 x 2、3 x 3、4 x 4、8 x 8（也提供用(yong)戶可定(ding)義的(de)合并）

真空(kong)兼容性(xing)：>10 mbar

I/O

O：Fire Row 1, Fire Row n, Fire All, Fire Any, Arm

I：外部

觸發模式：內部(bu)(bu)、外(wai)部(bu)(bu)、外(wai)部(bu)(bu)啟動、外(wai)部(bu)(bu)曝光、軟件

軟(ruan)件曝(pu)(pu)光事(shi)件：開始(shi)曝(pu)(pu)光 - 結(jie)束曝(pu)(pu)光（第 1 行(xing)），開始(shi)曝(pu)(pu)光 - 結(jie)束曝(pu)(pu)光（第 n 行(xing)）

圖(tu)像時間戳精度： 25 ns

PC 接口(kou)：USB 3.0和(he) CoaXPress

安裝法蘭(lan)：DN100CF (ConFlat) 6” O.D.固定法蘭(lan)提(ti)供 M8 或 5/16 UNC 螺紋孔(kong)

原位射線照相

斷層掃描

光譜學

高光譜成像

HHG 源表征

EUV 投影儀

EUV 光刻