Marana-X 是(shi) Andor 為直接 EUV 和(he)(he)軟 X 射(she)線應用量(liang)身定制的(de)開創性 sCMOS 平臺。手工打造，提供好的(de)性能和(he)(he)多功(gong)能性 Marana-X 在不到(dao) 50 毫秒的(de)時(shi)間內讀(du)取(qu) 4.2 兆像素高分(fen)辨(bian)率(lv)陣(zhen)列，同時(shi)保持低(di)的(de)讀(du)取(qu)噪(zao)聲；比類(lei)似分(fen)辨(bian)率(lv)的(de) CCD 探測器快數百倍(bei)。

與現有的 CCD 相(xiang)比，新型 Marana-X sCMOS 在 EUV-1 keV 能量范圍內具有更高(gao)的量子(zi)效率。 Marana-X 、的量子(zi)效率與其CMOS 技術(shu)相(xiang)得益彰，可通(tong)過(guo) 74 fps 全幀快速實(shi)現實(shi)驗時間的更小化和更大的數據吞吐量。

• 高達 99% 的 QE 和低噪聲：適合光不足測量的最大信噪比。 更快地實現高對比度。
• 真空冷卻至 -45℃：非常微弱的信號需要更低的本底噪聲和更長的曝光時間：不要受到相機熱噪聲的限制
• 2 百萬像素：高像素分辨率，在擴展視野范圍內保持圖像清晰度。
• 未鍍膜的背照式 sCMOS：Marana-X 采用了無涂層背照式 sCMOS 傳感器，可實現EUV - 軟 X 射線檢測。
• 擴展動態范圍 (EDR) 模式：在整個動態范圍內“一次定量”，在同一圖像中捕獲高強度和低強度圖像。
• 7% 線性度：在整個信號范圍內的定量精度。
• 標配風扇和液體冷卻：液體冷卻可實現更大靈敏度

傳感(gan)器類型：背照式(shi)科學 CMOS

陣列(lie)尺寸：2048 (W) x 2048 (H)

4.2 百萬像素

像素尺寸(cun)：6.5 x 6.5 μm

圖像(xiang)區：13.3 毫(hao)(hao)米(mi) x 13.3 毫(hao)(hao)米(mi)

（對角線(xian) 18.8 毫米）

讀出模式：滾動快門

像素讀出(chu)率： 310 MHz（快速(su)高動態范圍(wei)模式，16 位）

180 MHz（低噪(zao)聲模式，12 位）

 量子效率：高達 99%

讀(du)取(qu)噪聲 (e-) 中值：1.6 e-（快速高動態范圍模式，16 位）

1.2 電子(zi)-（低噪聲模式，12 位）

傳感器工作溫度

風冷：-25°C（max.30°C 環境(jing)溫度）

水冷/液冷：-45°C（@16°C 水）

暗電流

風(feng)冷 (@-25°C) ：0.15 e-/像素(su)

水冷/液(ye)冷 (@ -45°C) ：0.10 e-/像素

有效區域(yu)像素井深度：

55 000 e-（快(kuai)速高動(dong)態范圍模式，16 位）

1800 e-（低噪聲模式(shi)，12 位，位深(shen)度受限）

動(dong)(dong)態范圍(wei)：34 000:1（快速高動(dong)(dong)態范圍(wei)模式，16 位(wei)）

數據范(fan)圍：16 位（快速高動態范(fan)圍模式）

12 位(wei)（低噪聲模式(shi)）

線(xian)性：> 99.7%

PRNU：< 0.5% (@半光范圍)

感興趣區域 (ROI) ：用戶可定義(yi)，1 像素粒度(du)，

Min.尺寸 9（寬(kuan)）x 1（高）

預定義 ROI：1608 x 1608、1200 x 1200、1024×1024、512×512、128×128

像素合(he)并（在 FPGA 上）：2 x 2、3 x 3、4 x 4、8 x 8（也提(ti)供用戶可定義的合(he)并）

真空兼容性：>10 mbar

I/O

O：Fire Row 1, Fire Row n, Fire All, Fire Any, Arm

I：外部

觸發模式(shi)：內部(bu)、外部(bu)、外部(bu)啟動、外部(bu)曝光、軟件(jian)

軟(ruan)件曝光(guang)事件：開(kai)始曝光(guang) - 結(jie)束曝光(guang)（第 1 行），開(kai)始曝光(guang) - 結(jie)束曝光(guang)（第 n 行）

圖像時間戳(chuo)精度(du)： 25 ns

PC 接口：USB 3.0和 CoaXPress

安裝(zhuang)法蘭：DN100CF (ConFlat) 6” O.D.固定法蘭提(ti)供 M8 或(huo) 5/16 UNC 螺紋孔

原位射線照相

斷層掃描

光譜學

高光譜成像

HHG 源表征

EUV 投影儀

EUV 光刻