ELIONIX自1975年(nian)創立以(yi)來,一直以(yi)制作(zuo)(zuo)對科學(xue)技術進(jin)步做出(chu)貢獻的(de)(de)(de)(de)(de)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)為(wei)(wei)目標(biao),向(xiang)世(shi)(shi)界(jie)送出(chu)了(le)技術的(de)(de)(de)(de)(de)研究(jiu)開(kai)(kai)發(fa)(fa)用裝(zhuang)置(zhi)(zhi)。1997年(nian),電子束描繪裝(zhuang)置(zhi)(zhi)開(kai)(kai)發(fa)(fa)出(chu)了(le)能描繪當時高(gao)規(gui)格為(wei)(wei)1/5的(de)(de)(de)(de)(de)線(xian)寬10nm的(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)精細電子束描繪裝(zhuang)置(zhi)(zhi),之(zhi)后也(ye)(ye)相繼開(kai)(kai)發(fa)(fa)了(le)世(shi)(shi)界(jie)高(gao)性能的(de)(de)(de)(de)(de)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)。以(yi)兩個(ge)CS“挑戰與速度(du)”“客戶滿意度(du)”為(wei)(wei)基(ji)本理念,一直在進(jin)行領頭于其他(ta)公司的(de)(de)(de)(de)(de)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)開(kai)(kai)發(fa)(fa)。研究(jiu)開(kai)(kai)發(fa)(fa)用裝(zhuang)置(zhi)(zhi)也(ye)(ye)被日本國(guo)內(nei)及世(shi)(shi)界(jie)的(de)(de)(de)(de)(de)大學(xue)·公共機(ji)關等導(dao)入(ru),受到著高(gao)水平的(de)(de)(de)(de)(de)評(ping)價,不過,今后也(ye)(ye)致力于從(cong)研究(jiu)開(kai)(kai)發(fa)(fa)面向(xiang)事(shi)業化的(de)(de)(de)(de)(de)生產用裝(zhuang)置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)開(kai)(kai)發(fa)(fa)·銷售。我們今后也(ye)(ye)將(jiang)作(zuo)(zuo)為(wei)(wei)世(shi)(shi)界(jie)各地的(de)(de)(de)(de)(de)各位解(jie)決課題的(de)(de)(de)(de)(de)合作(zuo)(zuo)伙伴,以(yi)提(ti)供高(gao)性能的(de)(de)(de)(de)(de)裝(zhuang)置(zhi)(zhi)、滿足世(shi)(shi)界(jie)品牌的(de)(de)(de)(de)(de)企業為(wei)(wei)目標(biao)。
ELIONIX主要產(chan)品:
電(dian)子(zi)束光刻系(xi)統、離子(zi)刻蝕(shi)機、電(dian)子(zi)線3D粗糙度分(fen)析儀、納米壓(ya)痕儀
ELIONIX主(zhu)要型號:
EIS-200ERP、ELS-BODEN、ELS-BODEN Σ、ELS-HAYATE、EIS-220P、EIS-1500、ERA-9200、ERA-nanoR、ERA-600SP、ERA-600H2、ERA-600Series