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產品介紹
ELS-HAYATE能夠在數(shu)小時內制造(zao)出完(wan)整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合(he)需要高吞吐量(liang)和超細圖案分(fen)辨率的大型制造(zao)寫入場。
性能特點
- 可實現字段大小5mm的統一繪制
- 實現了業界的5毫米偏轉。因為可以統一繪制的區域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應用程序。此外，由于樣品表面內的載物臺移動次數也減少，高吞吐量的微細加工也能起到作用。
- 采用大電流電子光學系統
- 配備高電流電子光學系統，可以實現超出電子束光刻常識的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產生的微米到毫米量級的圖案，現在可以高質量曝光。
- 400MHz生產用高速掃描時鐘
- 當在高電流下進行光刻時，須將光斑間距設置得較寬，以平衡小劑量時間和良好劑量。
技術參數
- 產地：日本
- 加速電壓：50 kV
- 束流：1 nA～800 nA
- 最小光束直徑：D 10 nm
- 標準場尺寸：5000μm
- 最小/最大字段大小：
- 最小1000μm
- 最大5000μm
- 掃描時鐘：最大400MHz
- 最小發射間距：最小1.0nm
- 最大樣品尺寸：8“晶圓/12”晶圓
- 最大曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
- 加載機制：
- 單臺自動裝載機
- 多功能自動裝載機
- 機器人裝載機
產品參數
