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快(kuai)速，精確(que)，準確(que)地測(ce)量小樣本(ben)和(he)大(da)樣本(ben)
315毫米x 315毫米大掃描區域(yu)
用戶友好的概念
復(fu)雜的分(fen)析(xi)和自動化軟件
CT 300是一種非接觸輪(lun)廓(kuo)儀，具(ju)有315 mm的(de)(de)(de)x，y運(yun)動系統。它可(ke)(ke)以(yi)處理12英(ying)寸的(de)(de)(de)晶圓(yuan)或其他(ta)大型(xing)基板和(he)零件。使用彩(cai)色白(bai)光傳感器(qi)(qi)和(he)高達(da)20 kHz的(de)(de)(de)數據(ju)采集速率，可(ke)(ke)以(yi)將(jiang)檢查(cha)時間減至(zhi)最(zui)少。共聚焦顯微鏡(jing)和(he)3D白(bai)光干(gan)涉儀傳感器(qi)(qi)在低至(zhi)0.1 nm的(de)(de)(de)z方向上提供了無與倫比的(de)(de)(de)分(fen)辨(bian)率。利用多傳感器(qi)(qi)技(ji)術，可(ke)(ke)以(yi)同時安裝(zhuang)多個傳感器(qi)(qi)頭，包括(kuo)用于測量晶圓(yuan)厚度(du)的(de)(de)(de)紅外干(gan)涉儀。
典(dian)型的應(ying)(ying)用(yong)是印刷過(guo)程的分析和質量(liang)(liang)控制，例如PV太陽能電池，基板材料(liao)(liao)的進料(liao)(liao)檢查(cha)，各種基板上(shang)的厚膜測量(liang)(liang)，漿料(liao)(liao)倉庫，環氧膜，點或(huo)其他(ta)印刷和印刷的體積測量(liang)(liang)。分配的功能。 高(gao)輪(lun)廓物體的幾(ji)何形狀(zhuang)和位置測量(liang)(liang)（如焊料(liao)(liao)凸(tu)塊，微(wei)透(tou)鏡和MEMS器件）以及平(ping)面度和共面性分析是其他(ta)受歡迎(ying)的應(ying)(ying)用(yong)。由于CT 300在整個行程中保持高(gao)精度，因(yin)此可以快速而精確地(di)檢查(cha)較大的零件，例如晶片，墊(dian)片或(huo)玻(bo)璃鏡片。
系統控(kong)制(zhi)器(qi)：包括運動控(kong)制(zhi)，傳感器(qi)控(kong)制(zhi)器(qi)（2 kHz），電源，工作站(zhan)的USB接口
工作(zuo)站電(dian)腦(nao)：查詢當(dang)前規格(ge)，22英寸寬屏(ping)顯示器
連接：以(yi)太網(wang)，DVD驅動(dong)器，USB（正面和(he)背面），并行(xing)端口，鍵盤，鼠標，DVI和(he)模擬視頻輸出
電源要求：100-240V AC，50-60 Hz，2安(an)培(pei)(pei)（240 V），5安(an)培(pei)(pei)（100 V）
工作溫度：20°-30°C（68–86 F）
測量(liang)表面尺寸：400 x 400 [mm]（16 x 16 [in]）
線(xian)性編碼器分辨率：0.05μm（2μin）
橫向分辨率：min.1微米(mi)
X和Y的行程限制(zhi)（電動）：315 x 315 [mm]（12 x 12 [in]）
Z的(de)行(xing)程(cheng)限制（手動）：50 mm（2in）（可調節至100 mm）
機動化的(de)Z軸(zhou)行程：100 mm，分(fen)辨率0.1 µm
平(ping)臺上的負載：max.10 kg
可用的傳感器：
共焦白光傳感器
共焦激光傳感器
激光三角測量傳感器
干涉儀（白光和紅外(wai)）
尺寸（長X寬X高(gao)）：900 x 1040 x 1600 [mm]
站立式工作站（35 x 41 x 63 [in]）
重量(liang)：400 kg (880 lbs)
