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快速(su)，精確(que)，準確(que)地測量(liang)小樣本和大樣本
315毫(hao)米x 315毫(hao)米大(da)掃(sao)描區(qu)域(yu)
用戶友好的概念
復雜的分(fen)析(xi)和自動化軟件
CT 300是一種非接觸輪(lun)廓儀(yi)(yi)，具有315 mm的(de)x，y運動系統。它可以(yi)處(chu)理12英寸的(de)晶圓或(huo)其他大(da)型基(ji)板和零件。使用(yong)彩色白(bai)光傳感(gan)器(qi)和高達20 kHz的(de)數據(ju)采集速率，可以(yi)將檢查(cha)時間減至最少。共聚(ju)焦(jiao)顯微(wei)鏡和3D白(bai)光干(gan)涉儀(yi)(yi)傳感(gan)器(qi)在低至0.1 nm的(de)z方向上提供了無與倫比的(de)分辨率。利用(yong)多(duo)傳感(gan)器(qi)技術，可以(yi)同時安(an)裝多(duo)個傳感(gan)器(qi)頭(tou)，包(bao)括用(yong)于(yu)測量晶圓厚度的(de)紅外干(gan)涉儀(yi)(yi)。
典型的(de)(de)(de)應用是印(yin)(yin)刷過程的(de)(de)(de)分(fen)(fen)析和質量(liang)控制，例如PV太陽能電池，基板(ban)材(cai)料(liao)的(de)(de)(de)進料(liao)檢查，各(ge)種基板(ban)上(shang)的(de)(de)(de)厚膜(mo)測(ce)量(liang)，漿料(liao)倉庫，環氧(yang)膜(mo)，點或其(qi)他(ta)印(yin)(yin)刷和印(yin)(yin)刷的(de)(de)(de)體積測(ce)量(liang)。分(fen)(fen)配(pei)的(de)(de)(de)功能。 高輪廓物體的(de)(de)(de)幾何形(xing)狀和位置(zhi)測(ce)量(liang)（如焊料(liao)凸塊，微透鏡(jing)和MEMS器件）以(yi)及平面度和共面性分(fen)(fen)析是其(qi)他(ta)受(shou)歡迎(ying)的(de)(de)(de)應用。由(you)于CT 300在整個行程中保持(chi)高精(jing)度，因此可以(yi)快(kuai)速而精(jing)確(que)地檢查較(jiao)大的(de)(de)(de)零(ling)件，例如晶(jing)片(pian)，墊(dian)片(pian)或玻(bo)璃鏡(jing)片(pian)。
系統控(kong)制(zhi)器：包(bao)括運動(dong)控(kong)制(zhi)，傳感(gan)器控(kong)制(zhi)器（2 kHz），電源，工作(zuo)站的USB接口
工作站電腦：查詢(xun)當前規格，22英寸(cun)寬(kuan)屏顯示(shi)器(qi)
連接：以太網，DVD驅(qu)動器，USB（正面和背面），并行端口，鍵盤，鼠(shu)標，DVI和模擬視頻輸出(chu)
電(dian)源要求：100-240V AC，50-60 Hz，2安培（240 V），5安培（100 V）
工(gong)作溫度：20°-30°C（68–86 F）
測量表面尺寸：400 x 400 [mm]（16 x 16 [in]）
線性(xing)編碼(ma)器分(fen)辨率：0.05μm（2μin）
橫(heng)向分辨率：min.1微米
X和Y的行程限制（電動）：315 x 315 [mm]（12 x 12 [in]）
Z的(de)行程(cheng)限制(zhi)（手動）：50 mm（2in）（可調節(jie)至100 mm）
機動(dong)化的Z軸行程：100 mm，分辨率0.1 µm
平臺(tai)上(shang)的負載：max.10 kg
可用的傳感器：
共焦白光傳感器
共焦激光傳感器
激光三角測量傳感器
干(gan)涉儀（白光和紅外）
尺寸（長(chang)X寬X高）：900 x 1040 x 1600 [mm]
站(zhan)立式工(gong)作站(zhan)（35 x 41 x 63 [in]）
重量：400 kg (880 lbs)
