產品中心
產品分類
產品分類
品牌標簽
品牌標簽
產品介紹
CNI v3.0是桌面壓(ya)印(yin)工(gong)(gong)具，易(yi)于復制微米(mi)(mi)級結(jie)構，可(ke)用(yong)(yong)的(de)腔室可(ke)支(zhi)持多到100毫米(mi)(mi)晶圓(yuan)或(huo)200毫米(mi)(mi)晶圓(yuan)。CNI是一種用(yong)(yong)于壓(ya)印(yin)和熱(re)壓(ya)花的(de)桌面尺寸工(gong)(gong)具。它(ta)(ta)允許微結(jie)構從(cong)母版復制到基底。CNI工(gong)(gong)具可(ke)以執行熱(re)復制和紫外線復制。CNI工(gong)(gong)具是壓(ya)印(yin)的(de)良好(hao)起點，但它(ta)(ta)也(ye)支(zhi)持成熟和先進(jin)的(de)開發工(gong)(gong)作。CNI工(gong)(gong)具操作簡單，功(gong)能強大，便于非(fei)標準流程(cheng)和新實驗。
性能特點
- 臺式壓印工具
- UV NIL@365 nm（或405 nm–自定義選項）
- 壓印壓力從0.3bar到11bar
- 真空壓印（1mbar）
- 堅固且易于使用
- 手動裝載和卸載印章和基板
- 自動過程控制
- 易于操作的軟件界面
技術參數
- 產地：丹麥
- 壓力：壓印壓力為0.3-11bar過壓
- 溫度：
- 最高200ºC，可控制+/-1ºC
- 最高250ºC，帶高溫選項
- 紫外線照射:波長為365和/或405 nm的紫外光，在120 mm的腔室中光功率為12 W，在210 mm的腔室約為100 mW/cm2或57 W，約為165 mW/cm2。
- 真空：壓印室可以抽空至約1mbar的壓力
- 是否進口：是
- 應用：廣泛
- 封裝：廠家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
產品參數
