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產品介紹
CNI v3.0是(shi)(shi)桌面壓印工(gong)具，易于(yu)復制微米(mi)級結(jie)構，可(ke)用的腔室可(ke)支持多到(dao)100毫(hao)米(mi)晶(jing)圓(yuan)(yuan)或(huo)200毫(hao)米(mi)晶(jing)圓(yuan)(yuan)。CNI是(shi)(shi)一種用于(yu)壓印和熱壓花的桌面尺寸工(gong)具。它允許微結(jie)構從母(mu)版復制到(dao)基(ji)底。CNI工(gong)具可(ke)以(yi)執行(xing)熱復制和紫外(wai)線復制。CNI工(gong)具是(shi)(shi)壓印的良好(hao)起(qi)點，但(dan)它也支持成熟和先進的開發工(gong)作(zuo)。CNI工(gong)具操作(zuo)簡(jian)單，功(gong)能強大，便于(yu)非標準流程和新(xin)實驗。
性能特點
- 臺式壓印工具
- UV NIL@365 nm（或405 nm–自定義選項）
- 壓印壓力從0.3bar到11bar
- 真空壓印（1mbar）
- 堅固且易于使用
- 手動裝載和卸載印章和基板
- 自動過程控制
- 易于操作的軟件界面
技術參數
- 產地：丹麥
- 壓力：壓印壓力為0.3-11bar過壓
- 溫度：
- 最高200ºC，可控制+/-1ºC
- 最高250ºC，帶高溫選項
- 紫外線照射:波長為365和/或405 nm的紫外光，在120 mm的腔室中光功率為12 W，在210 mm的腔室約為100 mW/cm2或57 W，約為165 mW/cm2。
- 真空：壓印室可以抽空至約1mbar的壓力
- 是否進口：是
- 應用：廣泛
- 封裝：廠家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
產品參數
