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產品介紹
MProbe Vis薄(bo)膜(mo)測量系統(tong)是緊湊且(qie)多功能的(de)臺式系統(tong)。它可以(yi)測量不同基板上(shang)10nm – 150μm厚度范圍(wei)的(de)半透(tou)明薄(bo)膜(mo)。而(er)且(qie)，它經(jing)濟(ji)且(qie)易(yi)于使用。MProbe Vis（X） 的(de)生產版(ban)本設計用于承受振動并使用 LAN 連接 24/7 全天運行。它可用于在線和OEM應用。它與(yu)潔(jie)凈(jing)室環(huan)境兼容(rong)。MProbe20 VisX系統(tong)是MProbe20 Vis系統(tong)的(de)一(yi)個版(ban)本，在更(geng)長的(de)波長（>700nm）下具有更(geng)高的(de)靈敏度。
性能特點
- 經濟且易于使用
技術參數
- 產地：美國
- 波長范圍（可用）：400-1000nm（典型校準范圍：380-1050nm）和VisX的450nm -1050nm
- 波長分辨率：< 1nm，20μm狹縫（整個光譜均勻）
- 厚度范圍 ： 10nm – 150 μm
- 精度/重復性：<0.01nm 或 0.02%
- 精度：<1nm或0.2%
- 測量光斑尺寸：< 1mm（標準）
- 最小數據采集時間：10 μs
- 光源：5W TH燈，使用壽命10000小時（可選：20W TH燈，使用壽命2000小時）
- 通信接口：USB和1Gb LAN
產品參數
