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產品介紹
MProbe Vis薄膜測(ce)量(liang)系統(tong)(tong)是(shi)緊(jin)湊且(qie)多功(gong)能的(de)臺式系統(tong)(tong)。它(ta)(ta)(ta)可以測(ce)量(liang)不同基板(ban)上10nm – 150μm厚度范圍的(de)半透明薄膜。而且(qie)，它(ta)(ta)(ta)經濟且(qie)易于(yu)使(shi)用(yong)。MProbe Vis（X） 的(de)生產版本(ben)設(she)計用(yong)于(yu)承受振(zhen)動并使(shi)用(yong) LAN 連接 24/7 全天運行。它(ta)(ta)(ta)可用(yong)于(yu)在線和OEM應用(yong)。它(ta)(ta)(ta)與潔(jie)凈室環(huan)境兼容。MProbe20 VisX系統(tong)(tong)是(shi)MProbe20 Vis系統(tong)(tong)的(de)一個版本(ben)，在更(geng)長(chang)的(de)波長(chang)（>700nm）下(xia)具有更(geng)高的(de)靈敏度。
性能特點
- 經濟且易于使用
技術參數
- 產地：美國
- 波長范圍（可用）：400-1000nm（典型校準范圍：380-1050nm）和VisX的450nm -1050nm
- 波長分辨率：< 1nm，20μm狹縫（整個光譜均勻）
- 厚度范圍 ： 10nm – 150 μm
- 精度/重復性：<0.01nm 或 0.02%
- 精度：<1nm或0.2%
- 測量光斑尺寸：< 1mm（標準）
- 最小數據采集時間：10 μs
- 光源：5W TH燈，使用壽命10000小時（可選：20W TH燈，使用壽命2000小時）
- 通信接口：USB和1Gb LAN
產品參數
