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SENTECH SE 500adv 可作(zuo)為(wei)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)橢(tuo)(tuo)偏儀(yi)、膜厚(hou)探(tan)頭和(he)(he) CER 橢(tuo)(tuo)圓偏振儀(yi)使(shi)用(yong)。因(yin)此，它具有標準(zhun)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)橢(tuo)(tuo)偏儀(yi)所(suo)不具備的(de)靈活性(xing)。作(zuo)為(wei)橢(tuo)(tuo)偏儀(yi)使(shi)用(yong)時，可進(jin)行(xing)單角度(du)(du)和(he)(he)多角度(du)(du)測(ce)量。作(zuo)為(wei)薄(bo)(bo)膜厚(hou)度(du)(du)探(tan)頭使(shi)用(yong)時，可在(zai)正常入射條件下測(ce)量透明(ming)或弱吸收薄(bo)(bo)膜的(de)厚(hou)度(du)(du)。SE 500adv 中的(de)橢(tuo)(tuo)偏儀(yi)和(he)(he)反射儀(yi)（CER）組合(he)包括橢(tuo)(tuo)偏儀(yi)光(guang)(guang)(guang)(guang)學鏡(jing)組、測(ce)角儀(yi)、組合(he)式反射測(ce)量頭和(he)(he)自動準(zhun)直望遠鏡(jing)、樣(yang)品平臺、氦氖激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)、激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)檢測(ce)單元和(he)(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)度(du)(du)計。
- 準確無誤的厚度測定：將橢偏儀和反射儀結合使用，可通過自動識別循環厚度周期，快速、準確地測定透明薄膜的厚度。
- 大的測量范圍：激光橢偏儀和反射儀的組合將透明薄膜的厚度范圍擴大到 25 µm 或更多，具體取決于所選的光度計選項。
- 突破激光橢偏儀的限制：多角度手動測角儀具有高的性能和角度精度，可測量單層薄膜和層堆的折射率、消光系數和薄膜厚度。
產地：德國
波長(chang)：632.8 nm HeNe 激光器（< 1mW）
薄膜厚度精度：硅上(shang) 100 納米(mi)二氧化硅的(de) 0.01 納米(mi)
折射率(lv)精(jing)度偏差：5x10-4（100 nm SiO2 on Si）
透明層的總厚度范圍：max.6 µm
弱吸收層（多晶(jing)硅）的總(zong)厚度(du)范圍：max.2 µm
默認層(ceng)數：層(ceng)疊或基底上的 1-3 層(ceng)
測量時間(jian)：120 毫秒(miao) ..... 1.5 秒(miao)（取決于測量模式）
激光束直徑：1 毫(hao)米
入射角：手動測角儀
40° - 90°，以 5° 為單位設置
樣品(pin)校準(zhun)：自動準(zhun)直望遠鏡 (ACT)，用于調整樣品(pin)傾斜度(du)和(he)高度(du)
測(ce)繪范圍達 200 毫米(mi)
用于現(xian)場測量的液體電(dian)池
攝像機
自動對焦
電動測角儀
SpectraRay 4.0 仿真軟件
經過認證的標準晶片
