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產品介紹
Reflection DHM 是(shi)反射(she)(she)(she)配(pei)置的全息顯微鏡。它們是(shi)測(ce)量全反射(she)(she)(she)和部分反射(she)(she)(she)物體的理想(xiang)選擇(ze)。它們能夠處理低(di)反射(she)(she)(she)界面（反射(she)(she)(she)率低(di)至1%以(yi)下(xia)），是(shi)對各種樣品進行準確光(guang)學形貌測(ce)量的理想(xiang)儀(yi)器。
性能特點
- 高采集率和易用性
- 實現快速常規檢查、自動化工業質量控制以及創新的研發應用，尤其是動態觀測
- DHM與可選的頻閃模塊和用于MEMS分析和反射率分析的后分析軟件兼容
- 每個DHM都可以用自己的結構來固定，或者只作為一個頭，安裝在其他結構或生產線上
- DHM可與多種可選的電動載物臺兼容
- 它有能力和靈活性為您提供定制和OEM系統
選型指南
有三種(zhong)可用配置，由波長的(de)數量和(he)組合定(ding)義：
R-1000系列：單激光源
R-2100系(xi)列：雙激光源
R-2200系列(lie)：三(san)個激(ji)光源
技術參數
產品：瑞士
配置：單激光源
特異性：單波長
測量模式：單波長
分辨率：亞納米
測量：實時
精度（通過(guo)在30次測量中對(dui)1個(ge)像(xiang)素進行時間標準偏(pian)差來證明）：0.15 nm
垂直分辨率（定義(yi)為精度(du)的兩(liang)倍）：0.30 nm
重(zhong)復性(xing)（通過在SiC參考(kao)鏡上進行30次重(zhong)復性(xing)測量的(de)一(yi)sigma Rq值(zhi)來證(zheng)明）：0.01 nm
垂直測量范(fan)圍（無任何掃描）：連續結構(gou)可(ke)達(da)200μm
帶銳邊(bian)臺階的高度（取決于激光(guang)源和(he)工作波長）：max. 333 nm
產品參數
