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產品介紹
Reflection DHM 是反射(she)(she)配置的(de)全息顯微鏡。它(ta)們(men)是測(ce)量全反射(she)(she)和部(bu)分反射(she)(she)物體(ti)的(de)理(li)想選擇。它(ta)們(men)能夠處(chu)理(li)低反射(she)(she)界(jie)面（反射(she)(she)率低至1%以下(xia)），是對各種樣品進行準確光學形貌測(ce)量的(de)理(li)想儀器。
性能特點
- 高采集率和易用性
- 實現快速常規檢查、自動化工業質量控制以及創新的研發應用，尤其是動態觀測
- DHM與可選的頻閃模塊和用于MEMS分析和反射率分析的后分析軟件兼容
- 每個DHM都可以用自己的結構來固定，或者只作為一個頭，安裝在其他結構或生產線上
- DHM可與多種可選的電動載物臺兼容
- 它有能力和靈活性為您提供定制和OEM系統
選型指南
有三種可用配置，由波長的數量和組(zu)合定(ding)義：
R-1000系(xi)列：單激光源
R-2100系列(lie)：雙(shuang)激光(guang)源(yuan)
R-2200系列：三個激光源(yuan)
技術參數
產品：瑞士
配置：單激光源
特異性：單波長
測量模式：單波長
分辨率：亞納米
測量：實時
精(jing)度（通過(guo)在30次測量中(zhong)對1個(ge)像(xiang)素進行時間標準偏差來證(zheng)明）：0.15 nm
垂直分辨率（定義為精度的(de)兩(liang)倍）：0.30 nm
重(zhong)復性(xing)（通(tong)過(guo)在SiC參考(kao)鏡上(shang)進(jin)行30次重(zhong)復性(xing)測量(liang)的(de)一(yi)sigma Rq值來證明(ming)）：0.01 nm
垂(chui)直測量范(fan)圍（無任何掃描）：連續結構可(ke)達200μm
帶銳(rui)邊臺階的高度（取決于激光源和工作波長(chang)）：max. 333 nm
產品參數
