Metricon 2010/M 型(xing)棱鏡耦合器(qi)利用先進(jin)的光波導技術(shu)快(kuai)速準(zhun)確地測(ce)量介質和聚合物薄膜的厚度和折射率/雙折射率以(yi)及散裝材料的折射率。

◆通用性

Model 2010/M 數(shu)據分析軟(ruan)件(jian)是(shi)完全通用的，幾乎(hu)可以測量(liang)任何(he)薄膜，而(er)無需了解薄膜或基材(cai)的光學特性(xing)。

◆折(zhe)射率精度、分辨(bian)率和穩定性(xing)

棱(leng)(leng)鏡耦(ou)合(he)技術為薄(bo)膜測(ce)量提供(gong)比任何其(qi)他薄(bo)膜測(ce)量技術更高的(de)折射(she)率精度和分(fen)辨率。此(ci)外，由于(yu)折射(she)率測(ce)量僅對棱(leng)(leng)鏡的(de)耦(ou)合(he)角和折射(she)率敏感（不隨(sui)時間(jian)變(bian)化），因此(ci)棱(leng)(leng)鏡耦(ou)合(he)測(ce)量隨(sui)時間(jian)推移非(fei)常穩定(ding)，無需定(ding)期(qi)校(xiao)準 2010/M。

◆對折(zhe)射(she)率(lv)隨波長變化(hua)引起的誤(wu)差不敏感

每張薄(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)折(zhe)射(she)(she)(she)率隨波長(chang)(chang)變化。在依賴(lai)分(fen)光光度法(fa)（干(gan)涉與波長(chang)(chang)）的(de)(de)(de)(de)技術中，如果(guo)不能(neng)準確了解(jie)整個(ge)波長(chang)(chang)范圍內薄(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)折(zhe)射(she)(she)(she)率變化，將會(hui)導致(zhi)很大(da)的(de)(de)(de)(de)誤差。此(ci)外(wai)，許多薄(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)(de)折(zhe)射(she)(she)(she)率與波長(chang)(chang)曲線(xian)(xian)高度依賴(lai)于薄(bo)膜(mo)沉(chen)積條件(jian)。對于此(ci)類膠片，Model 2010/M 的(de)(de)(de)(de)單色測量(liang)具有明顯的(de)(de)(de)(de)優勢。如果(guo)確定各種(zhong)波長(chang)(chang)的(de)(de)(de)(de)折(zhe)射(she)(she)(she)率，則 2010/M 型可(ke)以配(pei)置多達五個(ge)激光器，并且(qie)可(ke)以在不到五秒(miao)的(de)(de)(de)(de)時(shi)間內從(cong)單個(ge)折(zhe)射(she)(she)(she)率測量(liang)中生成(cheng)連續(xu)的(de)(de)(de)(de)折(zhe)射(she)(she)(she)率與波長(chang)(chang)曲線(xian)(xian)。

◆相對于橢圓儀(yi)的優勢(shi)

由(you)于橢(tuo)(tuo)圓儀數(shu)據隨薄膜厚(hou)(hou)度(du)呈周(zhou)期性(xing)變化(hua)，單波(bo)(bo)長(chang)橢(tuo)(tuo)圓光(guang)度(du)法需要預(yu)先(xian)了解(jie)薄膜厚(hou)(hou)度(du)，精度(du)為 ±75 至 ±125 nm，具體取決于薄膜指數(shu)。直接進行厚(hou)(hou)度(du)測量(liang)的(de) Model 2010/M 不需要事(shi)先(xian)了解(jie)薄膜厚(hou)(hou)度(du)。此外，在某些周(zhou)期性(xing)厚(hou)(hou)度(du)范圍內，使用單波(bo)(bo)長(chang)橢(tuo)(tuo)圓光(guang)度(du)法進行折射(she)率測量(liang)是不可能的(de)。使用 2010/M，一旦薄膜厚(hou)(hou)度(du)超過某個min閾值（通(tong)常為 300-500 nm，取決于薄膜/基材(cai)類型），就可以獲得全精度(du)指數(shu)測量(liang)值。多波(bo)(bo)長(chang)橢(tuo)(tuo)圓偏振儀為準確的(de)薄膜測量(liang)提供了可能性(xing)，但數(shu)據分析非常復雜，通(tong)常只有(you)在對樣品的(de)光(guang)學參(can)數(shu)有(you)廣泛(fan)的(de)了解(jie)的(de)情(qing)況下才能獲得好的(de)結果。

◆材(cai)料色(se)散的簡單“光譜”測量(liang)

2010/M 型測(ce)量(liang)離散(san)激(ji)(ji)(ji)光(guang)波(bo)(bo)長(chang)的(de)指數，通常配備 1-5 個激(ji)(ji)(ji)光(guang)器。對于具有三(san)個激(ji)(ji)(ji)光(guang)器的(de)系統，Metricon 開發了專有軟件(jian)，使用新穎(ying)的(de)擬合(he)技(ji)術計算(suan)（在(zai)短短幾秒(miao)鐘內(nei)）在(zai)擴展波(bo)(bo)長(chang)范圍（例如 400-700 nm 或 633-1550 nm）內(nei)極其準確(que)的(de)折射率與波(bo)(bo)長(chang)曲線(xian)(xian)。四個或五個激(ji)(ji)(ji)光(guang)系統分(fen)別在(zai) 400-1064 和 400-1550 nm 范圍內(nei)提供(gong)準確(que)的(de)色散(san)曲線(xian)(xian)。在(zai)大多數情況(kuang)下，在(zai)中間波(bo)(bo)長(chang)下計算(suan)的(de)指數值(zhi)提供(gong)的(de)準確(que)度實際(ji)上與用激(ji)(ji)(ji)光(guang)在(zai)該波(bo)(bo)長(chang)下測(ce)量(liang)的(de)指數相(xiang)同。

◆透明基材的測量

2010/M 型可用于(yu)測量透明基(ji)(ji)材上的薄(bo)膜(mo)，即(ji)使薄(bo)膜(mo)和(he)基(ji)(ji)材之間的折射率匹配相(xiang)對(dui)接近。此(ci)外，棱鏡耦合技術(shu)對(dui)來自基(ji)(ji)板背面的反射不敏(min)感(gan)，而(er)這對(dui)于(yu)橢圓偏光法和(he)其他(ta)薄(bo)膜(mo)測量技術(shu)來說通(tong)常很麻(ma)煩(fan)。

◆內部自洽性檢查

如果膜(mo)厚(hou)超過(guo) 500-750 nm，則(ze)對(dui)膜(mo)厚(hou)和(he)指(zhi)數進行(xing)多次獨立(li)估計，并(bing)顯示這些(xie)多次估計的(de)標準差。只要測量(liang)(liang)標準偏差很低（厚(hou)度通常(chang)為 0.3%，折射(she)率通常(chang)為 0.01%），就(jiu)不太可(ke)能出(chu)現明顯的(de)誤(wu)差。沒有其他技術可(ke)以對(dui)每(mei)個測量(liang)(liang)的(de)有效(xiao)性提供類似(si)的(de)“置信(xin)度檢查”。

◆更輕松、更準確地測(ce)量散裝材料的折射率

2010/M 可(ke)以在 x、y 和 z 方向(xiang)測(ce)量(liang)從 1.0 到 3.35 的折射率，并且測(ce)量(liang)是全(quan)自動的，并且沒有傳統(tong)折光(guang)儀常見的操作員主觀性(xing)。2010/M 不需要使用臟亂(luan)、有毒或腐(fu)蝕(shi)性(xing)的匹配液，可(ke)以處理光(guang)學平整度(du)或拋光(guang)度(du)相對較差的樣(yang)品（甚至可(ke)以測(ce)量(liang)輕微(wei)倒圓的鑄造(zao)“斑點”）。

◆指(zhi)數(shu)精(jing)度：±.0005（差情(qing)況）。折(zhe)射(she)率(lv)精(jing)度主要(yao)受到確定(ding)測量棱(leng)鏡的角度和折(zhe)射(she)率(lv)的不確定(ding)性(xing)的限制。對于具有合理光(guang)學(xue)質量的樣(yang)品(pin)，如果使用(yong)(yong)高(gao)分辨率(lv)臺并且用(yong)(yong)戶愿意對每個棱(leng)鏡執行簡單的校準(zhun)程(cheng)序，則可以實現 ±.0001-.0002 的折(zhe)射(she)率(lv)精(jing)度。NIST、熔融石英和其(qi)他標準(zhun)可用(yong)(yong)于指(zhi)數(shu)校準(zhun)。

◆索引分(fen)辨率(lv)(lv)：±.0003（壞情況）。對于具有合理光學(xue)質量(liang)的樣(yang)品，使用高分(fen)辨率(lv)(lv)旋轉(zhuan)臺可將折射率(lv)(lv)分(fen)辨率(lv)(lv)提(ti)高至(zhi) ±.00005。

◆厚(hou)度(du)精度(du)：±(0.5% + 5 nm)

◆厚度分(fen)辨率：±0.3%

◆工作(zuo)波(bo)長：低(di)功(gong)率 (0.8 mw) He-Ne 激光(guang)器(qi) (632.8 nm)，CDRH II 類。可選擇用(yong)于測量較薄薄膜(mo)的(de)較短波(bo)長（405、450、473、532、594 nm）和用(yong)于光(guang)纖/集成光(guang)學應用(yong)的(de)近紅外（830、980、1064、1310、1550 nm）波(bo)長。可選來源(yuan)將 CDRH 安全等級(ji)更改為 IIIa 或 IIIb。

◆典(dian)型測量時間(jian)：標準表 10-25 秒，高分辨率表 20-75 秒。

◆測(ce)量(liang)面(mian)積：當膠(jiao)片(pian)和測(ce)量(liang)棱鏡在大約 8 平方毫米的面(mian)積上接(jie)觸時，實際測(ce)量(liang)的膠(jiao)片(pian)面(mian)積只有 1 毫米直徑。

◆折射(she)率(lv)測(ce)量范圍：使用(yong)標(biao)準棱鏡，可測(ce)量折射(she)率(lv)2.65及以下的薄膜和塊(kuai)狀(zhuang)材料。可以使用(yong)專用(yong)棱鏡進行高達 3.35 的折射(she)率(lv)測(ce)量。

◆產地：美國

◆光波導

◆散裝/基底材料/液體的(de)折射率(lv)測量

◆表面等離子體激元(yuan) (SPR) 和波導傳感器

◆納米材料的表征

◆測量色散

◆聚(ju)合(he)物/聚(ju)酰(xian)亞胺(an)/光致抗蝕(shi)劑

◆薄膜和本體聚合物材(cai)料的(de)折射率/雙折射率/取(qu)向

◆顯示技術材料

◆LED材料

◆環氧(yang)樹脂(zhi)、凝膠和其他折射率匹配材(cai)料(liao)的折射率測量(liang)

◆磁性薄膜磁頭材料

◆厚膜測量

◆等離(li)子體氮化物(wu)或氮氧化物(wu)

◆多層膜

◆金屬和其他半(ban)導體上(shang)的薄膜