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產品介紹
基(ji)于(yu)激光(guang)的(de)觀(guan)察系統專為基(ji)于(yu)電(dian)介質/壓(ya)電(dian)的(de)高頻器件（例如(ru) SAW 濾波器（叉指(zhi)換能器 (IDT)）和薄膜體(ti)聲波諧振器 (FBAR) 的(de)表面聲波 (SAW) 和體(ti)聲波 (BAW) 的(de)可視化而(er)設計。
性能特點
- 適用于不同頻率下物理聲波傳播的分析
- 短時間廣域觀測
技術參數
- 產地：日本
- 振動檢測方法：基于Sagnac干涉儀的振動檢測（峰值頻率靈敏度：5GHz）
- 振動觀測方法：用激光束探頭進行臺架控制掃描觀測（用于平面外振動）
- 觀察光源：二極管激光器（波長：650nm，典型），發光二極管
- 可用物鏡：×20、×50、×100物鏡
- 觀測頻率：500MHz～6GHz（典型值）
- 驅動信號輸入范圍*1:50MHz～6GHz（-120dBM～+15dBM）*2
- 最大可分析面積：25mm×25mm
- 可接受的工作量：最大8英寸晶圓
- 樣品臺：電動X-Y臺
- 結構：主體/電氣單元/信號發生器/鎖定放大器/舞臺驅動器/PC/軟件
產品參數
