掃(sao)(sao)描雙(shuang)(shuang)軸（傾斜(xie)）MEMS反射鏡(jing)(jing)（或“微(wei)反射鏡(jing)(jing)”）是(shi)一種光(guang)束(shu)控制（或2D光(guang)學掃(sao)(sao)描）技術，在許多行(xing)業中(zhong)使用。與競(jing)爭產品相比，Mirrorcle Technologies股份有(you)限公司tip-timeMEMS反射鏡(jing)(jing)有(you)幾(ji)個主要(yao)優勢。基(ji)于ARI-MEMS制造技術的無(wu)萬向(xiang)節雙(shuang)(shuang)軸掃(sao)(sao)描微(wei)鏡(jing)(jing)設備(bei)起(qi)初是(shi)通過位于加利(li)福尼(ni)亞州伯克利(li)的亞得里亞海(hai)研究所(suo)(suo)（“ARI”）基(ji)于ARI-MEM制造技術的研究項(xiang)目開發(fa)的，無(wu)萬向(xiang)節雙(shuang)(shuang)軸掃(sao)(sao)描微(wei)鏡(jing)(jing)設備(bei)在超低功率環境中(zhong)運行(xing)，并在兩軸上(shang)提供非常快速(su)的光(guang)束(shu)掃(sao)(sao)描。該設備(bei)使激光(guang)束(shu)在兩個軸上(shang)高速(su)偏轉至(zhi)高達32°的光(guang)學掃(sao)(sao)描角。與現有(you)的大型(xing)電流(liu)計光(guang)學掃(sao)(sao)描儀相比，我(wo)們的設備(bei)所(suo)(suo)需的驅(qu)動功率要(yao)低幾(ji)個數(shu)量級。我(wo)們的靜電執行(xing)器的連(lian)續(xu)全速(su)操(cao)作消(xiao)耗的功率不到幾(ji)毫瓦。

MirrorcleTech器(qi)件完全由單晶(jing)硅制成，具(ju)有(you)好的(de)(de)可(ke)重復性(xing)和(he)可(ke)靠性(xing)。光(guang)學平面和(he)光(guang)滑(hua)的(de)(de)反射(she)鏡上(shang)涂有(you)一(yi)層具(ju)有(you)所需反射(she)率的(de)(de)薄膜。更大的(de)(de)反射(she)鏡可(ke)以結合到(dao)致動器(qi)上(shang)，用于(yu)定制孔徑(jing)尺寸(cun)。直徑(jing)從0.8毫(hao)米到(dao)7.5毫(hao)米的(de)(de)鏡子(zi)目前有(you)庫(ku)存。高(gao)達9.0mm的(de)(de)尺寸(cun)在(zai)特(te)殊應用中得到(dao)了成功證(zheng)明。

MirrorcleTech的(de)(de)MEMS微鏡(jing)技術用(yong)途廣泛，適用(yong)于各種(zhong)應用(yong)。一些器件采用(yong)某(mou)種(zhong)通用(yong)的(de)(de)準靜態（點(dian)對點(dian)）性能規范(fan)制(zhi)造(zao)。其他設備是高度可(ke)定(ding)(ding)制(zhi)的(de)(de)，以(yi)實(shi)現(xian)特定(ding)(ding)的(de)(de)規格(ge)集，例(li)如投影顯(xian)示(shi)器。雖然以(yi)下(xia)描述主要(yao)涉及雙軸裝置，但也有多(duo)個單軸設計可(ke)用(yong)，包括點(dian)對點(dian)（準靜態）和諧(xie)振(zhen)型。

Mirrorcle Technologies MEMS器件(jian)解決(jue)了需要(yao)光束控制(zhi)的廣泛應(ying)用(yong)。隨著光學掃描或(huo)光束轉向出(chu)現在(zai)各種(zhong)行業和(he)眾(zhong)多應(ying)用(yong)中(zhong)，我(wo)們的掃描鏡(jing)在(zai)那些需要(yao)微(wei)型、高(gao)速、低(di)功(gong)耗或(huo)低(di)成本解決(jue)方案的應(ying)用(yong)中(zhong)most為有(you)利。

• 無萬向節設計，實現超高速雙軸激光束轉向
• 點對點（準靜態）或諧振操作模式下的大角度

• MEMS反射鏡：A7M10.2-1000AL
• 帶寬：在基于LPF的驅動中為~2200Hz
• FoR：約34°x 34°關注范圍
• 波長：單個激光二極管光源：綠色（~520nm），<30mW CW功率
• 發散度（半角，平均值）：<2.5mrad
• 重復性：每個軸<0.005°
• MEMS接口：10針0.05“Samtec連接器，與所有MirrorcleMEMS控制器匹配
• 鏡子尺寸：從0.6毫米到7.5毫米不等
• 激光接口：

共享10針MEMS接口連(lian)接器

需要與掃描模(mo)塊配對的(de)Mirrorcle MEMS控制器，以匹配激(ji)光二極管（LD）特性

• 產地：美國

• 投影顯示器
• 3D掃描
• 激光雷達成像
• 3D跟蹤和位置測量
• 激光打標和雕刻
• 自由空間光學與電信
• 生物醫學成像