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OPTO DIODE光電二極管SXUV100TF135

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  • 品牌名稱：OPTO DIODE
  • 規格型號：SXUV100TF135
產品介紹

每個檢測器具有100mm2的(de)(de)有(you)源面積和(he)用(yong)(yong)于(yu)在12nm和(he)18nm之間進(jin)行檢測(ce)(ce)(ce)的(de)(de)直接(jie)沉積的(de)(de)薄(bo)膜(mo)濾波器(qi)。兩種探測(ce)(ce)(ce)器(qi)在13.5nm處(chu)都具有(you)0.09A/W的(de)(de)典型響應(ying)度，并且針對不同(tong)的(de)(de)電性能(neng)進(jin)行了優(you)化(hua)。光(guang)電二極(ji)管非常適合(he)用(yong)(yong)于(yu)激光(guang)功(gong)率監測(ce)(ce)(ce)、半導體光(guang)刻和(he)利用(yong)(yong)極(ji)紫外光(guang)的(de)(de)計(ji)量(liang)系統等(deng)應(ying)用(yong)(yong)。SXUV100TF135針對更(geng)高速(su)的(de)(de)反向(xiang)偏置(zhi)電壓(ya)操作進(jin)行了優(you)化(hua)。該器(qi)件(jian)具有(you)低電容，通常為260pF，反向(xiang)偏置(zhi)電壓(ya)為12伏。

性能特點
  • 單個有效區域
  • 檢測到1 nm
  • 暴露于EUV/UV條件后的穩定響應
  • 保護蓋板
技術參數

產地：法國

擊穿電壓：25 V

配置：單個

模塊：否

包裝：陶瓷

包裝類型：陶瓷

光電探測器類型：PN

操作模式：光電導

波長(chang)范圍：18至80 nm

響(xiang)應時間：20 ns

反向電壓：25 V

光譜帶：紫外線

電容：220至350 pF

暗電流：8至25 nA

響應(ying)性/感光度：0.08至0.1 A/W@13.5 nm

有效面積：100 mm2（10 mm x 10 mm）

工作溫(wen)度：-10至40℃

儲存(cun)溫度(du)：-10至40℃

產品應用

激光功率監測

半導體光刻

計量系統

產品參數

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