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Veeco的(de)(de)(de)LSA101系統安(an)裝在(zai)DM和(he)鑄(zhu)造廠，是大批量生產(chan)40nm至14nm節點的(de)(de)(de)邏輯器(qi)件(jian)的(de)(de)(de)技(ji)術。LSA101的(de)(de)(de)掃描技(ji)術建(jian)立在(zai)Veeco可定制的(de)(de)(de)Unity平臺上(shang)，在(zai)均勻性和(he)低(di)應(ying)力(li)處理方面具有基本優勢。LSA101系統實(shi)現(xian)了關鍵毫秒退火應(ying)用，使客戶能夠保(bao)持準確、有針(zhen)對性的(de)(de)(de)高處理溫度，從而實(shi)現(xian)器(qi)件(jian)性能的(de)(de)(de)提高、更(geng)低(di)的(de)(de)(de)泄漏和(he)更(geng)高的(de)(de)(de)產(chan)量。
標準(zhun)LSA101配(pei)置利用單個窄(zhai)激(ji)(ji)光(guang)(guang)束(shu)(shu)將晶(jing)片(pian)表面從襯底溫(wen)(wen)(wen)度加熱(re)到峰值退火溫(wen)(wen)(wen)度。為了(le)應對日益復雜的(de)工(gong)藝需求，Veeco開(kai)發了(le)一種雙光(guang)(guang)束(shu)(shu)技(ji)術，該技(ji)術擴展了(le)非熔化激(ji)(ji)光(guang)(guang)退火的(de)應用空間，并采用第(di)二種低(di)功率激(ji)(ji)光(guang)(guang)束(shu)(shu)實現低(di)溫(wen)(wen)(wen)加工(gong)。當使用雙光(guang)(guang)束(shu)(shu)時，引入第(di)二較(jiao)寬的(de)激(ji)(ji)光(guang)(guang)束(shu)(shu)來(lai)預熱(re)晶(jing)片(pian)。雙梁(liang)系統在調節溫(wen)(wen)(wen)度和應力(li)分布方面提供了(le)靈活性。
- Ultratech的激光處理系統提供了解決方案，以應對制造具有高度激活的源極/漏極觸點的超淺結晶體管的艱巨挑戰
- LSA在高達1350°C的溫度下提供亞毫秒熱退火過程，從而以小的摻雜劑擴散減少激活
- Ultratech的光學設計與其他毫秒退火系統相比，將與圖案相關的模內溫度變化減少了>10倍
產地：美國
節點：40nm到(dao)10nm
平臺：Unity Platform
系統類型：雙梁
技術：雙光束
精度：亞毫秒
溫度(du)：高(gao)達(da)1350°C
加工方式：低溫
安裝：DM和鑄造廠
標準配(pei)置(zhi)：單個窄激光(guang)束(shu)
