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Veeco的(de)(de)LSA101系(xi)統(tong)安裝在(zai)DM和鑄造廠(chang)，是(shi)大批量生(sheng)產40nm至14nm節(jie)點的(de)(de)邏輯器(qi)件的(de)(de)技(ji)術。LSA101的(de)(de)掃描技(ji)術建立在(zai)Veeco可定制的(de)(de)Unity平臺上，在(zai)均(jun)勻性(xing)和低(di)應力處理方面具有(you)基本優勢。LSA101系(xi)統(tong)實(shi)現了關鍵毫秒(miao)退火應用，使客(ke)戶(hu)能夠保持準(zhun)確、有(you)針對性(xing)的(de)(de)高(gao)(gao)處理溫度(du)，從而(er)實(shi)現器(qi)件性(xing)能的(de)(de)提(ti)高(gao)(gao)、更低(di)的(de)(de)泄漏和更高(gao)(gao)的(de)(de)產量。
標準LSA101配置利用(yong)單個窄激(ji)光(guang)(guang)束將晶片表面從襯底溫(wen)(wen)(wen)度(du)加(jia)(jia)熱到峰值退火(huo)溫(wen)(wen)(wen)度(du)。為了(le)應對日(ri)益(yi)復雜的(de)(de)工藝需求(qiu)，Veeco開發了(le)一種(zhong)雙光(guang)(guang)束技術，該技術擴(kuo)展了(le)非熔化(hua)激(ji)光(guang)(guang)退火(huo)的(de)(de)應用(yong)空間，并采用(yong)第二種(zhong)低(di)功(gong)率激(ji)光(guang)(guang)束實現(xian)低(di)溫(wen)(wen)(wen)加(jia)(jia)工。當使(shi)用(yong)雙光(guang)(guang)束時，引入第二較(jiao)寬的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)束來預熱晶片。雙梁系統(tong)在(zai)調節溫(wen)(wen)(wen)度(du)和(he)應力分(fen)布(bu)方面提供了(le)靈活(huo)性。
- Ultratech的激光處理系統提供了解決方案，以應對制造具有高度激活的源極/漏極觸點的超淺結晶體管的艱巨挑戰
- LSA在高達1350°C的溫度下提供亞毫秒熱退火過程，從而以小的摻雜劑擴散減少激活
- Ultratech的光學設計與其他毫秒退火系統相比，將與圖案相關的模內溫度變化減少了>10倍
產地：美國
節點：40nm到10nm
平(ping)臺：Unity Platform
系統類型：雙梁
技術：雙光束
精度：亞毫秒
溫度：高達(da)1350°C
加工方式：低溫
安裝：DM和鑄造廠
標準配置(zhi)：單個窄激光束
