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EDMUND OPTICS阿秒多層反射鏡#16-767

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產品介紹

極紫(zi)外光(EUV)阿(a)(a)秒(miao)多(duo)層(ceng)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)設計用于(yu)阿(a)(a)秒(miao)脈(mo)沖的(de)(de)(de)轉向(xiang)、聚焦和(he)整(zheng)形。他們的(de)(de)(de)多(duo)層(ceng)膜中心位于(yu)65eV（19nm），帶寬為(wei)(wei)6eV（1.8nm），為(wei)(wei) S 偏(pian)振(zhen)光提(ti)(ti)供(gong)38%的(de)(de)(de)峰值(zhi)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)率(lv)。這(zhe)些反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)支持持續時間(jian)為(wei)(wei)330阿(a)(a)秒(miao)的(de)(de)(de)極紫(zi)外（EUV）脈(mo)沖。 UFI極紫(zi)外（EUV）阿(a)(a)秒(miao)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)是(shi)基于(yu)高(gao)次諧波(bo)（HHG）、自由電子(zi)激光器（FEL）或其(qi)他量子(zi)光學應(ying)用產生和(he)整(zheng)形阿(a)(a)秒(miao)脈(mo)沖的(de)(de)(de)理想選擇(ze)。可提(ti)(ti)供(gong)直徑為(wei)(wei)25.4mm的(de)(de)(de)平面反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)和(he)凹面反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)；如果您的(de)(de)(de)應(ying)用需要定(ding)制(zhi)中心能量、帶寬或其(qi)他規(gui)格的(de)(de)(de)極紫(zi)外（EUV）多(duo)層(ceng)反(fan)(fan)(fan)射(she)(she)鏡(jing)，請(qing)與我們聯系(xi)。

性能特點
  • 設計用于65eV（19nm）下的 330 阿秒脈沖
  • 具有38%峰值反射率的多層鍍膜
  • ≤1Å 表面粗糙度超拋光基底
  • 另外提供專為5nm 設計的極紫外（EUV）平面反射鏡 和 極紫外（EUV）球面反射鏡
技術參數

直徑 (mm):25.40 ±0.13

基(ji)底(di): 熔融石英(Corning 7980)

表面質量(liang):10-5 (基質)

涂層規(gui)格(ge):Rs > 38% @ 65eV/19nm

涂層: 多層EUV (19nm)

入射(she)角 (°):5

有(you)效孔徑 (%):80設計波長 DWL (nm):19

邊緣: 精細研磨

表面(mian)粗糙度（埃）:<1

中心能(neng)源(yuan)(eV):65 ±2

帶寬 (eV):6

支(zhi)持的脈沖持續時間:330阿秒

邊(bian)緣厚度(du) ET (mm):6.35 ±0.20

有效焦(jiao)距 EFL (mm):500.00

半徑(jing) R1 (mm):1000.00

產品參數

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