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極(ji)(ji)紫(zi)外(wai)光(EUV)阿(a)秒(miao)(miao)多(duo)層(ceng)反射(she)鏡(jing)(jing)設計用于阿(a)秒(miao)(miao)脈(mo)沖的(de)(de)轉向(xiang)、聚焦(jiao)和(he)整(zheng)形(xing)。他們的(de)(de)多(duo)層(ceng)膜中心位(wei)于65eV（19nm），帶寬為6eV（1.8nm），為 S 偏振光提(ti)供(gong)38%的(de)(de)峰值(zhi)反射(she)率。這(zhe)些反射(she)鏡(jing)(jing)支持(chi)持(chi)續時間為330阿(a)秒(miao)(miao)的(de)(de)極(ji)(ji)紫(zi)外(wai)（EUV）脈(mo)沖。 UFI極(ji)(ji)紫(zi)外(wai)（EUV）阿(a)秒(miao)(miao)反射(she)鏡(jing)(jing)是基于高次諧波（HHG）、自由電子(zi)激光器（FEL）或其(qi)他量(liang)(liang)子(zi)光學(xue)應用產生和(he)整(zheng)形(xing)阿(a)秒(miao)(miao)脈(mo)沖的(de)(de)理想(xiang)選擇。可提(ti)供(gong)直徑為25.4mm的(de)(de)平面反射(she)鏡(jing)(jing)和(he)凹(ao)面反射(she)鏡(jing)(jing)；如(ru)果您(nin)的(de)(de)應用需要定制中心能量(liang)(liang)、帶寬或其(qi)他規格的(de)(de)極(ji)(ji)紫(zi)外(wai)（EUV）多(duo)層(ceng)反射(she)鏡(jing)(jing)，請與我(wo)們聯系。
- 設計用于65eV（19nm）下的 330 阿秒脈沖
- 具有38%峰值反射率的多層鍍膜
- ≤1Å 表面粗糙度超拋光基底
- 另外提供專為5nm 設計的極紫外（EUV）平面反射鏡 和 極紫外（EUV）球面反射鏡
直(zhi)徑(jing) (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(Corning 7980)
表面質(zhi)(zhi)量:10-5 (基質(zhi)(zhi))
涂層規格(ge):Rs > 38% @ 65eV/19nm
涂層: 多層EUV (19nm)
入射角 (°):5
有效孔徑(jing) (%):80設(she)計波長 DWL (nm):19
邊緣: 精細研磨
表(biao)面(mian)粗糙度(du)（埃）:<1
中心能源(eV):65 ±2
帶寬 (eV):6
支持(chi)的脈沖(chong)持(chi)續(xu)時間:330阿秒
邊(bian)緣厚度 ET (mm):6.35 ±0.20
有效(xiao)焦距 EFL (mm):500.00
半(ban)徑 R1 (mm):1000.00
